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一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺制造技术
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文档序号:26346314
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本发明公开了提出了一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺,包括衬底、形成在衬底上的空腔,衬底上设置有支撑层以包围形成空腔,在衬底上方与空腔同层形成有连通空腔的释放通道,释放通道平行于衬底在空腔周围延伸,其中,交错的释放通道可依谐振器的分布位置...
该专利属于杭州见闻录科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州见闻录科技有限公司授权不得商用。
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