测试头定位装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种定位用于测试电子元件的测试头的定位装置，所述定位装置包括：外气缸；与所述外气缸相连用于支撑所述测试头的支撑件。所述定位装置还包括布置在所述外气缸中的活塞，所述活塞和所述外气缸限定出位于所述外气缸中的流体腔。所述定位装置还包括压力调节器，用于维持所述流体腔内的压力，从而使所述测试头可以悬挂在基本失重状态，所述基本失重在竖直方向可调。所述定位装置还包括用于升高和降低所述外气缸的提升装置，所述提升装置包括与所述活塞相连的带螺纹驱动机构。所述定位装置还包括用于操作所述带螺纹驱动机构的驱动装置，以将所述测试头移动到预定位置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及用于测试电子元件的测试头的定位系统，尤其是涉及为测试电子元件的测试头提供竖直顺应(compliant)运动的定位系统。
技术介绍
在电子元件如集成电路(IC)的自动测试中，通常使用包括“操纵装置”的系统来处理待测试物件。所述操纵装置可以是小型装置处理机、晶片探头或其他操纵设备。所用操纵装置的类型可以根据测试进行时的制造和开发阶段的不同而不同。操纵装置依次将每个受测试装置(DUT)带到测试点，在此处，它与测试插座、探头卡等相连，进行电子测试。电子测试本身通过大而精细的自动测试系统来进行，其包括一个测试头。所述测试头常常通过电缆与主机相连，所述电缆携载着电能、信号和其他所需项如测试头冷却剂。测试头向DUT提供电能和测试信号。测试头与精密高速电子电路致密地封装在一起，以得到复杂装置的精确高速测试。这样测试头就很重，约为40-1000kg或更多。在很复杂的测试头中，电路学需要通过测试头抽出冷却剂，这对测试头重量、以及电缆的重量和弹性产生很大影响。在测试时，测试头必须尽可能靠近操纵装置的测试点，以使信号的降级最小化。相应地，测试头可能需要与操纵装置接合。可使用测试头定位系本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种定位用于测试电子元件的测试头的定位装置，所述定位装置包括：外气缸；与所述外气缸相连且用于支撑所述测试头的支撑件；布置在所述外气缸中的活塞，所述活塞和所述外气缸限定出位于所述外气缸中的流体腔；压力调节器，用于维持所述流体腔内的压力，从而使所述测试头可以悬挂在基本失重位置，所述位置在竖直方向可调；用于升高和降低所述外气缸的提升装置，所述提升装置包括与所述活塞相连的驱动机构；以及用于操作所述驱动机构的驱动装置，以将所述测试头移动到预定位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：克里斯蒂安米勒，
申请(专利权)人：因泰斯特IP公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]