一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置制造方法及图纸

技术编号:26291822 阅读:41 留言:0更新日期:2020-11-10 19:10
本实用新型专利技术公开了一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,包括底架,所述底架顶端四角处均固定设置有固定杆,所述底架顶端中部固定设置有显光扫描装置,所述底架顶端前侧右侧的固定杆外部一侧固定设置有控制面板。本实用新型专利技术在进行输送作业时在把硅片放置到固定夹板之间的夹持口内部后,在通过控制面板同时启动电机和显光扫描装置,且电机在启动时带动转杆转动,则就会同时带动安装在前侧固定杆相对一侧上端的转动轮转动,且同时带动输送带转动进行输送作业,当把硅片移动到显光扫描装置的上端时通过显光扫描装置对硅片外部进行扫描,检测有没有出现裂缝的问题,如果发现裂缝则就会把数据传输到控制面板上即可。

【技术实现步骤摘要】
一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置
本技术涉及单晶硅片
,具体为一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置。
技术介绍
单晶硅片,硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成;传统的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置存在以下不足;目前,在对单晶硅片进行生产时需要使用到很多的步骤,而现有在对硅片进行检查时都是人工进行操作不够便捷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,包括底架,所述底架顶端四角处均固定设置有固定杆,所述底架顶端中部固定设置有显光扫描装置,所述底架顶端前侧右侧的固定杆外部一侧固定设置有控制面板,两侧所述固定杆顶端相对一侧均活动设置有转动轮,所述转动轮之间均固定设置有输送带,所述输送带外部均固定设置有若干固定块,所述底架顶端前侧右端的固定杆右侧上端固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,包括底架(7),其特征在于:所述底架(7)顶端四角处均固定设置有固定杆(8),所述底架(7)顶端中部固定设置有显光扫描装置(3),所述底架(7)顶端前侧右侧的固定杆(8)外部一侧固定设置有控制面板(9),两侧所述固定杆(8)顶端相对一侧均活动设置有转动轮(5),所述转动轮(5)之间均固定设置有输送带(6),所述输送带(6)外部均固定设置有若干固定块(16),所述底架(7)顶端前侧右端的固定杆(8)右侧上端固定设置有安装框(2),所述安装框(2)内部一侧通过安装座固定设置有电机(1),所述电机(1)的输出端固定设置有转杆(4),所述转杆(4)在远离电机(1)...

【技术特征摘要】
1.一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,包括底架(7),其特征在于:所述底架(7)顶端四角处均固定设置有固定杆(8),所述底架(7)顶端中部固定设置有显光扫描装置(3),所述底架(7)顶端前侧右侧的固定杆(8)外部一侧固定设置有控制面板(9),两侧所述固定杆(8)顶端相对一侧均活动设置有转动轮(5),所述转动轮(5)之间均固定设置有输送带(6),所述输送带(6)外部均固定设置有若干固定块(16),所述底架(7)顶端前侧右端的固定杆(8)右侧上端固定设置有安装框(2),所述安装框(2)内部一侧通过安装座固定设置有电机(1),所述电机(1)的输出端固定设置有转杆(4),所述转杆(4)在远离电机(1)的一端依次穿过安装框(2)、固定杆(8)和前侧的转动轮(5)之间,所述控制面板(9)通过导线分别与显光扫描装置(3)和电机(1)电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置,其特征在于:所述固定块(16)相对一侧在靠近输送带(6)的一端均固定设置有固定夹杆(14),所述固定夹杆(14)在远离固...

【专利技术属性】
技术研发人员:王德喜
申请(专利权)人:天津莱昌电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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