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本实用新型公开了一种可检查单晶硅片裂隙的夹送装置，包括底架，所述底架顶端四角处均固定设置有固定杆，所述底架顶端中部固定设置有显光扫描装置，所述底架顶端前侧右侧的固定杆外部一侧固定设置有控制面板。本实用新型在进行输送作业时在把硅片放置到固定夹...
该专利属于天津莱昌电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津莱昌电子科技有限公司授权不得商用。

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