LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法技术

本发明专利技术揭示了一种LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，所述方法包括：将石英环绕其中心轴以第一方向旋转第一角度，使电子束扫过与旋转第一角度对应的石英环扇形区域，对所述扇形区域进行预处理；将石英环绕其中心轴以与第一方向相反的第二方向旋转第一角度，使电子束再次扫过所述扇形区域，以在LED外延片的背面生长第一折射率的第一DBR层；在所述第一DBR层上生长第二折射率的第二DBR层。本发明专利技术通过预处理去除石英环表面的杂质，确保生长后形成的第一DBR层与LED外延片的粘附性强，不易脱落。而且通过调整石英环旋转的转速和时间可以精确地控制预处理过程中石英环的蒸发量，以确保石英环不会产生过大的浪费。

【技术实现步骤摘要】
LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法
本专利技术涉及LED芯片制程，特别涉及一种LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法。
技术介绍
LED(Light-EmittingDiode)是发光二极管的简称，其是一种常用的发光器件，通过电子与空穴复合释放能量发光。LED作为一种新型节能、环保固态照明光源，具有能效高、体积小、重量轻、响应速度快以及寿命长等优点，使其在很多领域得到了广泛应用。LED外延片的背面具有分布式布拉格反射镜(DistributeBraggReflection，一般简称DBR)，其具有周期性层叠的超晶格层，由两种不同折射率的材料以ABAB的方式交替排列组成的周期结构。氧化硅是分布式布拉格反射镜中常见的一种材质，其原料是石英。常见的石英形状之一为环形，即采用石英环为原料制备具有氧化硅材质的分布式布拉格反射镜。电子枪加热石英环后通过气相沉积的方式使氧化硅生长在LED外延片的背面生产一层DBR结构。但是，如果石英环上存在杂质，生长后的第一DBR层与LED外延片的结合力差，同时由于杂质的存在使第一DBR层的折射率不符合要求。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n将石英环绕其中心轴以第一方向旋转第一角度，使电子束扫过与旋转第一角度对应的石英环扇形区域，对所述扇形区域进行预处理；/n将石英环绕其中心轴以与第一方向相反的第二方向旋转第一角度，使电子束再次扫过所述扇形区域，以在LED外延片的背面生长第一折射率的第一DBR层；/n在所述第一DBR层上生长第二折射率的第二DBR层。/n

【技术特征摘要】
1.一种LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
将石英环绕其中心轴以第一方向旋转第一角度，使电子束扫过与旋转第一角度对应的石英环扇形区域，对所述扇形区域进行预处理；
将石英环绕其中心轴以与第一方向相反的第二方向旋转第一角度，使电子束再次扫过所述扇形区域，以在LED外延片的背面生长第一折射率的第一DBR层；
在所述第一DBR层上生长第二折射率的第二DBR层。


2.根据权利要求1所述的LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，在“生长第二DBR层”步骤前，所述方法还包括：
对第一DBR层进行粘附性测试。


3.根据权利要求2所述的LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，若所述粘附性测试合格，则交替生长第二DBR层和第一DBR层。


4.根据权利要求2所述的LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，若所述粘附性测试不合格，则去除第一DBR层后重新预处理石英环和生长第一DBR层。


5.根据权利要求4所述的LED外延片分布式布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，所述去除第一DBR层具体为：
在LED外延片的正面贴附保护膜；
蚀刻第一DBR层；
去除保护膜。

【专利技术属性】
技术研发人员：宋海飞，贾杰，
申请(专利权)人：聚灿光电科技宿迁有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32