【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及加速度计，特别是涉及减小加速度计中的偏移。
技术介绍
区别加速度计的关键参数之一是偏移性能，既包括初始偏移，又包括随时间改变的偏移，还包括温度偏移。例如，具有一个可移动块状件的横向显微机械加工加速度计，该块状件通常采用固定在一个衬底上且位于该块状件边界外侧的多个块状件悬挂结构。测量该块状件相对于传感指针的运动的传感指针也通常固定于该块状件边界外侧的衬底上，例如，环绕在该块状件的衬底上。如果芯片受到应力，例如在装配过程中产生的应力以及温度变化引起的应力，那么该块状件和传感指针之间的相对位置关系就可能发生改变。例如，正常加工变化引起连接在这些支点和可移动块状件之间的弹簧的弹簧常数的差异。如果支点间的距离改变，那么弹簧常数间的差异就能够引起所述片状物相对于支点的不相等位移，这一过程能使该块状件相对于传感指针运动，从而被认为成一种偏移。同样地，传感器材料也可能由于制造过程而具有内应力，这也能引起偏移。例如，如果可移动块状件的材料处于张紧或压缩状态，那么所述弹簧的位移可能不相等，这能使该块状件相对于传感指针运动，从而被认为是一种偏移。所述偏移通常由信号...
【技术保护点】
一种加速度计，其包括：衬底；块状件，其具有外表面，一个形成内表面的腔、和沿所述内表面的一部分的多个细长指针；若干块状件支撑结构，所述块状件支撑结构位于所述内表面内，并由至少一个位于该块状件质量中心附近的支点固定在衬底 上，以便将该块状件支撑在衬底上方并允许该块状件相对于衬底运动；和多个细长传感指针，所述指针用来感知该块状件指针相对于传感指针的运动，所述传感指针在内表面内基本上与该块状件指针并排设置，并且固定在衬底上与所述至少一个支点接近的位置，从 而机械应力使该块状件指针和传感指针以基本上相同的方式运动。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：霍华德R塞缪尔斯，戴维C霍洛歇尔，迈克尔朱迪，托尔朱诺，
申请(专利权)人：模拟设备公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。