加速度传感器制造技术

加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分。该制动器基板限制了重物向上的过度摆动。

【技术实现步骤摘要】
加速度传感器
本专利技术涉及加速度传感器，更具体地，涉及一种改善了抗冲击性的半导体加速度传感器。
技术介绍
为了实现例如移动的物体(如汽车、轮船)以及机器人、机械制造装置或由用户控制和使用的移动装置如笔记本个人电脑、便携电话、PDA(个人数字助理)、DVC(数码摄像机)、DSC(数码照相机)中的各种控制，与控制目标相一致地检测作用在对象体(target body)的整体或局部上的压力是必须的。通过感测基于作用在对象整体或局部上的加速度的应力，可以感测加速度。已开发出了多种用于检测该压力或加速度的常规装置，其中的一种装置是已知的，在该装置内部，在半导体基板上形成计量电阻(gaugeresistor)，作为检测元件，其利用压阻效应，将外部提供的作用于其上的力产生的机械应变(mechanical strain)转换为电信号(参见inventionsociety于2003年9月发行的《invention》期刊第52页至63页的“development of three-weight sensor”)。另外，在invention society于2003年9月发行的《invention》期刊本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁 部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分，其中，利用粘合剂将制动器基板固定到围绕支撑部分上端面的焊盘的区域，并利用该制动器基 板限制重物向上的过度摆动。

【技术特征摘要】
JP 2004-12-16 2004-3649271、一种加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分的顶部相连接；被悬起的重物，其与所述梁部分的另一端相连接；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分，其中，利用粘合剂将制动器基板固定到围绕支撑部分上端面的焊盘的区域，并利用该制动器基板限制重物向上的过度摆动。2、一种加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上，其上端面包括焊盘；四个梁部分，其各自的一端在与中心的支撑部分相垂直的方向上与该支撑部分的上端部相连接，并在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号；被悬起的重物，其与该四个梁部分的另一端相连接；支撑部分的延伸部分，其布置在四个梁部分中的两个相邻的梁部分之间；和制动器基板，其带有窗孔部分，为了引导检测元件的输出信号通过形成在支撑部分上端面上的焊盘，与焊盘连接的导线经过该窗孔部分，其中，利用粘合剂将制动器基板固定到支撑部分的延伸部分，制动器基板限制了重物向上的过度摆动。3、一种加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；四个梁部分，其各自的一端在与中心的支撑部分相垂直的方向上与该支撑部分的上端部相连接，并在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速...

【专利技术属性】
技术研发人员：小野正明，石川宽，田中浩，山田澄夫，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]