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加速度传感器。具有较好抗冲击性的结构被提出用于伞型加速度传感器。该加速度传感器，包括：支撑部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成检测元件，检测元件与作用在检测元件上的加速度导致的应变相一致地将变化施加到输出信号，梁部分的一端与支撑部分...
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