基于纯弯梁的光纤光栅加速度计制造技术

本发明专利技术涉及光纤传感器技术领域，公开了一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计，包括：用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳１；用于测量加速度的光纤光栅２；用于安装光纤光栅２的弹性简支梁３；用于安装弹性简支梁３，且固定在外壳１上的第一支座５和第二支座６；安装在弹性简支梁３上，用于调整光纤光栅加速度计灵敏度和自振频率的两个质量块４。利用本发明专利技术，提高了光纤光栅加速度计的灵敏度，并改进了光纤光栅加速度计的封装工艺，使栅区获得了均匀应变。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤传感器
，尤其涉及一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计。
技术介绍
光纤传感器与对应的常规传感器相比，在灵敏度、动态范围、可靠性等方面也具有明显的优势，在国防、军事应用领域显得尤为突出，被许多国家列为重点发展的国防技术。光纤加速度计是利用光纤的传光特性以及它与周围环境相互作用产生的种种调制效应，探测地面、空气中或者海底的振动等信号的仪器。它与传统的压电类加速度计相比，有以下主要优势：频带宽、声压灵敏度高、不受电磁干扰、重量轻、可设计成任意形状，以及兼具信息传感及光信息传输于一身等优点。鉴于光纤加速度计的如上技术优势，可满足各发达国家在石油、军事等领域的要求，目前已经在此方面积极展开研究。在常见的强度调制型、数字式、光纤光栅式光纤加速度计中，光纤光栅式加速度计由于其体积小、易于复用的特点得到了广泛的关注。余有龙等人报道了一种光纤光栅加速度计，是采用在将光纤光栅粘接在悬臂梁表面的方法。当悬臂梁发生振动时，其表面会有周期性的压拉应变，光纤光栅通过检测悬臂梁表面的应变来实现振动的测量。该种技术方案为了使加速度和传感器的输出保持线性关系，悬臂梁的挠度不能过大，从而限制了传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计，其特征在于，该光纤光栅加速度计包括：　用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳（１）；　用于测量加速度的光纤光栅（２）；　用于安装光纤光栅（２）的弹性简支梁（３）；　用于安装弹性简支梁（３），且固定在外壳（１）上的第一支座（５）和第二支座（６）；　安装在弹性简支梁（３）上，用于调整光纤光栅加速度计灵敏度和自振频率的两个质量块（４）。

【技术特征摘要】
1、一种基于纯弯梁的光纤光栅加速度计，其特征在于，该光纤光栅加速度计包括：用作光纤光栅加速度计支撑结构的传感器外壳(1)；用于测量加速度的光纤光栅(2)；用于安装光纤光栅(2)的弹性简支梁(3)；用于安装弹性简支梁(3)，且固定在外壳(1)上的第一支座(5)和第二支座(6)；安装在弹性简支梁(3)上，用于调整光纤光栅加速度计灵敏度和自振频率的两个质量块(4)。2、根据权利要求1所述的光纤光栅加速度计，其特征在于，所述光纤光栅(2)固定于弹性简支梁(3)上，且位于两个质量块(4)的中间。3、根据权利要求1所述的光纤光栅加速度计，其特征在于，所述弹性简支梁(3)的两...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文涛，李芳，刘育梁，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]