氧化镓单晶生长炉制造技术

本申请公开了氧化镓单晶生长炉，包括底座、脚轮、支撑板、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座底侧固定连接有脚轮，且底座右侧顶部贴合有支撑板；所述支撑板顶侧表面开设有导向槽，且支撑板顶侧表面中部开设有螺纹孔。该种氧化镓单晶生长炉设计新颖、结构简单、通过设置的防滑机构的作用下，便于将底座底部连接的脚轮脱离地面，通过推板将装置进行撑起，提高装置放置的稳定，满足工作者的使用需求，便于操作，在使用时，通过设置的夹持机构的作用下，便于通过夹板将放置在放置座表面的单晶生长炉主体进行稳定夹持，保障单晶生长炉主体稳定放置，避免单晶生长炉发生位移或者滑动情况，便于使用，适合推广使用。

【技术实现步骤摘要】
氧化镓单晶生长炉
本申请涉及一种单晶生长炉，具体是氧化镓单晶生长炉。
技术介绍
氧化镓的别名是三氧化二镓，氧化镓（Ga2O3）是一种宽禁带半导体，Eg=4.9eV，其导电性能和发光特性长期以来一直引起人们的注意；Ga2O3是一种透明的氧化物半导体材料，在光电子器件方面有广阔的应用前景，被用作于Ga基半导体材料的绝缘层，以及紫外线滤光片；它还可以用作O2化学探测器。目前在氧化镓单晶生长炉放置后，单晶生长炉体可能会受到碰撞发生位移或倾斜情况，影响晶体的质量，同时由于单晶生长炉较重，不便于工作者进行搬运移动，增加劳动强度，且不便于工作者进行单晶生长炉的高度调节，影响使用。因此，针对上述问题提出氧化镓单晶生长炉。
技术实现思路
氧化镓单晶生长炉，包括底座、脚轮、支撑板、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座底侧固定连接有脚轮，且底座右侧顶部贴合有支撑板；所述支撑板顶侧表面开设有导向槽，且支撑板顶侧表面中部开设有螺纹孔；所述防滑机构包括第一电动推杆、推板以及吸盘，且第一电动推杆固定连接在底座底侧表面；所述第一电动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.氧化镓单晶生长炉，其特征在于：包括底座（1）、脚轮（2）、支撑板（7）、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座（1）底侧固定连接有脚轮（2），且底座（1）右侧顶部贴合有支撑板（7）；所述支撑板（7）顶侧表面开设有导向槽（701），且支撑板（7）顶侧表面中部开设有螺纹孔（702）；/n所述防滑机构包括第一电动推杆（4）、推板（3）以及吸盘（5），且第一电动推杆（4）固定连接在底座（1）底侧表面；所述第一电动推杆（4）输出端固定连接有推板（3），且推板（3）底侧固定连接有吸盘（5）；/n所述调高机构包括导向柱（10）、顶板（12）、电动机（11）、螺纹杆（13）、固定块（8）、放置座（6...

【技术特征摘要】
1.氧化镓单晶生长炉，其特征在于：包括底座（1）、脚轮（2）、支撑板（7）、防滑机构、调高机构以及夹持机构；其中所述底座（1）底侧固定连接有脚轮（2），且底座（1）右侧顶部贴合有支撑板（7）；所述支撑板（7）顶侧表面开设有导向槽（701），且支撑板（7）顶侧表面中部开设有螺纹孔（702）；
所述防滑机构包括第一电动推杆（4）、推板（3）以及吸盘（5），且第一电动推杆（4）固定连接在底座（1）底侧表面；所述第一电动推杆（4）输出端固定连接有推板（3），且推板（3）底侧固定连接有吸盘（5）；
所述调高机构包括导向柱（10）、顶板（12）、电动机（11）、螺纹杆（13）、固定块（8）、放置座（6）以及固定螺栓（9），且导向柱（10）滑动贯穿在导向槽（701）中；所述导向柱（10）右侧设有螺纹连接在支撑板（7）表面的固定螺栓（9）；所述导向柱（10）底端与所述底座（1）右端顶部表面固定连接，且导向柱（10）顶端固定连接有顶板（12）；所述顶板（12）顶侧表面固定连接有电动机（11），且电动机（11）输出端连接有螺纹连接在螺纹孔（702）中的螺纹杆（13）；所述支撑板（7）底端左侧表面固定连接有固定块（8），且固定块（8）左侧固定连接有放置座（6）；所述放置座（6）顶侧的放置槽中设有单晶生长炉主体（21）；
所述夹持机构包括连接块（14）、连接框（15）、第二电动推杆（16）、夹板（17）、限位块（18）、连接杆（20）以及连接筒（19），且连接块（14）固定连接在支撑板（7）顶端左侧表面；所述连接块（14）左侧固定连接有连接框（15），且连接框（15）相对的两侧表面螺纹连接有第二电动推杆（16）；所述第二电动推杆（16）输出端连接有夹板（17），且夹板（17）表面固定连接有与单晶生长炉主体（21）侧表面贴合的限位块（18）；所述连接框（15）相对的两侧表面固定镶嵌有连接筒（19），且连接筒（19...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖迪，
申请(专利权)人：江苏利泷半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32