一种悬臂梁式光纤光栅加速度计制造技术

本发明专利技术涉及光纤传感器技术领域，公开了一种悬臂梁式光纤光栅加速度计，包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳；用于固定悬臂梁的支撑柱，该支撑柱一端固定连接于悬臂梁，另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面；悬臂梁；安装于悬臂梁上侧两端的第一凸台和第二凸台，用于水平固定光纤光栅，且使光纤光栅与悬臂梁具有一定的间隔；用于测量加速度的光纤光栅，其两端分别固定于悬臂梁上的第一凸台和第二凸台上，其中一端平行于悬臂梁表面延伸穿过所述光纤光栅加速度计侧壁上的孔至所述光纤光栅加速度计的外部；安装于悬臂梁下侧一端或两端的质量块，用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。本发明专利技术提高了灵敏度，改进了封装工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光纤传感器
，尤其涉及一种悬臂梁式光纤光栅加速度计。
技术介绍
光纤传感器与对应的常规传感器相比，在灵敏度、动态范围、可靠性等方面也具有明显的优势，在国防、军事应用领域显得尤为突出，被许多国家列为重点发展的国防技术。光纤加速度计是利用光纤的传光特性以及它与周围环境相互作用产生的种种调制效应，探测地面、空气中或者海底的振动等信号的仪器。它与传统的压电类加速度计相比，有以下主要优势：频带宽、声压灵敏度高、不受电磁干扰、重量轻、可设计成任意形状，以及兼具信息传感及光信息传输于一身等优点。鉴于光纤加速度计的如上技术优势，可满足各发达国家在石油、军事等领域的要求，目前已经在此方面积极展开研究。在常见的强度调制型、数字式、光纤光栅式光纤加速度计中，光纤光栅式加速度计由于其体积小、易于复用的特点得到了广泛的关注。余有龙等人报道了一种光纤光栅加速度计，是采用在将光纤光栅粘接在悬臂梁表面的方法。当悬臂梁发生振动时，其表面会有周期性的压拉应变，光纤光栅通过检测悬臂梁表面的应变来实现振动的测量。该种技术方案一方面光纤光栅的栅区直接被胶封装，容易使光纤光栅产生啁啾，另一方面为了使加速度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬臂梁式光纤光栅加速度计，其特征在于，该光纤光栅加速度计包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳（１）；用于固定悬臂梁（３）的支撑柱（２），该支撑柱（２）一端固定连接于悬臂梁（３），另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面；悬臂梁（３），用作弹性原件；安装于悬臂梁（３）上侧两端的第一凸台和第二凸台（４），用于水平固定光纤光栅（５），且使光纤光栅（５）与悬臂梁（３）具有一定的间隔；用于测量加速度的光纤光栅（５），该光纤光栅（５）的两端分别固定于悬臂梁（３）上的第一凸台和第二凸台（４）上，其中一端平行于悬臂梁（３）表面延伸穿过所述光纤光栅加速度计侧壁上的孔（７）至所述光纤光栅加速度计的外...

【技术特征摘要】
1、 一种悬臂梁式光纤光栅加速度计，其特征在于，该光纤光栅加速度计包括：作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳(1)；用于固定悬臂梁(3)的支撑柱(2)，该支撑柱(2)一端固定连接于悬臂梁(3)，另一端固定连接于所述光纤光栅加速度计的底侧面；悬臂梁(3)，用作弹性原件；安装于悬臂梁(3)上侧两端的第一凸台和第二凸台(4)，用于水平固定光纤光栅(5)，且使光纤光栅(5)与悬臂梁(3)具有一定的间隔；用于测量加速度的光纤光栅(5)，该光纤光栅(5)的两端分别固定于悬臂梁(3)上的第一凸台和第二凸台(4)上，其中一端平行于悬臂梁(3)表面延伸穿过所述光纤光栅加速度计侧壁上的孔(7)至所述光纤光栅加速度计的外部；安装于悬臂梁(3)下侧一端或两端的质量块(6)，用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。2、 根据权利要求1所述的悬臂梁式光纤光栅加速度计，其特征在于，所述孔(7)位于光纤光栅加速度计的侧壁上，用于引出和固定光纤光栅(5)的尾纤。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文涛，李芳，刘育梁，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]