加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供一种通过防止止动部破损来提高耐久性的加速度传感器。当向下的振动被施加给锤部件（３６）并且锤部件（３６）向下侧位移时，锤部件（３６）的底面碰触底板（９０），锤部件（３６）停止，下侧的位移被阻止。并且，当锤部件（３６）向上侧位移时，周边锤部（３６Ｂ）碰触止动部（２０），锤部件（３６）停止，上侧的位移被阻止。由于碰触止动部（２０）而阻止锤部件（３６）的位移，因而当止动部（２０）的强度低时，认为止动部（２０）破损。然而，由于在止动部（２０）的两侧设置有加强止动部（２０）的加强部（２４），因而防止止动部（２０）破损，由此可提高加速度传感器（１００）的耐久性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于检测XYZ的3轴方向的加速度的加速度传感器。
技术介绍
根据专利文献1中记载的加速度传感器，当从加速度测定对象物传递振动、并使安装在锤固定部上的锤部件振动时，锤固定部位移，由此，与锤固定部相邻的梁部挠曲。并且，由于该梁部挠曲而使安装在梁部上的电阻元件的电阻值变化，根据该电阻值的变化测定加速度测定对象物的加速度。这里，锤部件向下侧的位移由于该锤部件的底面碰触底板而被阻止，并且向上侧的位移由于锤部件的上表面碰触止动部而被阻止。这样，由于止动部阻止锤部件向上侧的位移，因而防止由过大的加速度引起的电阻元件(加速度传感器)的破坏。【专利文献1】日本特开2004-198243号公报另一方面，近年来，对加速度传感器要求提高耐久性，然而在现有的加速度传感器中，当锤部件强烈碰触止动部而使止动部破损时，梁部大幅挠曲，电阻元件过大位移而受到破坏。
技术实现思路
本专利技术的课题是，考虑到上述事实，通过防止止动部破损来提高加速度传感器的耐久性。本专利技术的专利技术1的加速度传感器具有：第1基板，其具有：锤固定部，在该锤固定部的周围隔开形成的周边固定部，将该锤固定部和该周边固定部连接的梁部，与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，其具有：　第１基板，其具有：锤固定部，在该锤固定部的周围隔开形成的周边固定部，将该锤固定部和该周边固定部连接的梁部，与该锤固定部和该梁部隔开且与该周边固定部邻接的止动器，以及划分该锤固定部、该周边固定部、该梁部和该止动器的开口部；　底座部，其支撑所述周边固定部；以及　锤部件，其具有：固定在所述锤固定部上的中央锤部，和从该中央锤部向四方延伸的周边锤部，　所述加速度传感器的特征在于，　所述止动器具有：所述周边锤部的角部向上方过度位移时所接触的止动部，和从该止动部向所述梁部延伸的加强部。

【技术特征摘要】
JP 2007-7-12 2007-1829661.一种加速度传感器，其具有：第1基板，其具有：锤固定部，在该锤固定部的周围隔开形成的周边固定部，将该锤固定部和该周边固定部连接的梁部，与该锤固定部和该梁部隔开且与该周边固定部邻接的止动器，以及划分该锤固定部、该周边固定部、该梁部和该止动器的开口部；底座部，其支撑所述周边固定部；以及锤部件，其具...

【专利技术属性】
技术研发人员：三木慎介，
申请(专利权)人：冲电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]