微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构与方法技术

微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构与方法是一种专门用于检测微悬臂梁疲劳特性的装置和方法，该结构是在硅衬底（１１）上设置一层氮化层（１２），在氮化层（１２）的上方悬空设有一组测试结构，在氮化层（１２）的上表面设有一组与测试结构相对应的下电极，在测试结构与下电极间施加交变的压差，实现悬臂梁的往复振动，对于不同的振动阶段，因悬臂梁的刚度变化将造成下拉位移的变化，通过检测测试结构与下电极间电容的变化，反映出悬臂梁结构的疲劳过程直至寿命终止。该结构和方法具有简单直观、可靠性好、精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种通过MEMS(微机械系统)加工技术制造的基于电容检测疲劳“蠕变”的测试结构与方法，属于微电子机械系统制造、性能及其可靠性测试的
技术介绍
可靠性是工业化过程中一个不可缺少的环节。当前微电子的研究已经进入了一个白热化的阶段，可靠性的很多方面也已经得到了很好的研究，然而，关于MEMS器件中微结构的疲劳可靠性分析基本采用类似金属材料的疲劳研究方法，主要用观察裂纹的方法研究疲劳，得出S-N曲线。这样的方法对于检测MEMS微梁结构的疲劳可靠性来说存在较大的局限性，它只能给出微梁的疲劳寿命，而无法反映疲劳所引起的微结构性能参数的衰变过程。但是，了解这个变化过程对MEMS器件长期使用可靠性的研究是至关重要的。
技术实现思路

技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种，即通过MEMS加工技术制造的基于电容检测疲劳“蠕变”的测试结构，该结构和方法具有精度高，可观性好，以及性能可靠等优点。技术方案本专利技术是一种用于检测，该结构是在硅衬底上设置一层氮化层，在氮化层的上方悬空设有一组测试结构，该测试结构的中央为膜，在膜的四个角上分别连接有第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁，该四根梁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构，其特征在于该结构是在硅衬底（１１）上设置一层氮化层（１２），在氮化层（１２）的上方悬空设有一组测试结构，该测试结构的中央为膜（９），在膜（９）的四个角上分别连接有第一悬臂梁（１）、第二悬臂梁（２）、第三悬臂梁（３）、第四悬臂梁（４），该四根梁的外端分别通过固定块固定在氮化层（１２）的上方，在氮化层（１２）的上表面设有一组与测试结构相对应的下电极，即第一下电极（５）、第二下电极（６）、第三下电极（７）、第四下电极（８）、第五下电极（１０），第一压焊块（１３）、第二压焊块（１４）、第三压焊块（１５）分别设置在氮化层（１２）上，其中，第一压焊块（１３）与膜（９）相...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐洁影，余存江，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]