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微悬臂梁疲劳特性的电容检测结构与方法是一种专门用于检测微悬臂梁疲劳特性的装置和方法，该结构是在硅衬底（１１）上设置一层氮化层（１２），在氮化层（１２）的上方悬空设有一组测试结构，在氮化层（１２）的上表面设有一组与测试结构相对应的下电极，在测...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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