【技术实现步骤摘要】
曝光机台电子枪加热系统
本技术主要涉及曝光机领域，尤其涉及曝光机台电子枪加热系统。
技术介绍
电子束曝光指使用电子束在工件表面上制造图样的工艺，是光刻技术的延伸，是指利用某些有机聚合物对电子敏感的特性，将其加工成精细掩模图形的曝光技术。图1所示为现有电子束曝光机，电子束曝光的原理是：电子枪的阴极发射电子经加速极，栅极共同作用后，在阳极孔附近由于电磁透镜径向场的向轴作用力汇聚成极细的电子束，再由物镜将它投射到工作台上的工件表面上，计算机将微型电子器件上复杂而精细的图形，转换成数据并传输到图形发生器，由图形发生器控制束偏转器和束流的通断在工件上曝光出图形。电子束曝光机中的电子束必须在高真空的环境中发射、运动、聚焦和偏移，避免电子与气体分子的碰撞影响电子高速运动,电子抽真空系统则保证了真空室内需要的高真空的环境。电子束曝光机台更换电子枪后，电子枪内抽取高真空需要时间很长,必须依附设备原先的载体，无法提前准备。
技术实现思路
本技术提供曝光机台电子枪加热系统，大大缩减抽真空的时间，为了实现上述...
【技术保护点】
1.曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部。/n
【技术特征摘要】
1.曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：包括：离子泵、分子泵、加热带，分子泵一端通过管道接真空室、另一端接机械泵，离子泵通过管道接入真空室，加热带缠绕在离子泵外部。
2.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：还包括温度传感器，温度传感器设置在加热带与离子泵之间。
3.根据权利要求2所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：还包括控制器，控制器与温度传感器、加热带连接。
4.根据权利要求1所述的曝光机台电子枪加热系统，其特征在于：所述离子泵，由两块平行的阴极板、两块平行的阳极板构成一个腔体，阴极板采用Ti金属。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：周凯，
申请(专利权)人：无锡迪思微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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