【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及针尖扫描式原子力显微镜，特别是一种针尖扫描式原子 力显微镜的光束跟踪装置。本专利技术能减少针尖在三维方向高速扫描时所 产生的虚假偏折。
技术介绍
原子力显微镜(AFM)能对表面成纳米级别的三维图像，是在纳米 技术中具有重要应用的一种表面测量仪器。原子力显微镜按扫描方式可分为两种样品扫描式和针尖扫描式。样品扫描式原子力显微镜受到样品大小，样品温度等的限制。且对于液态样品，样品扫描式原子力显微 镜很难获得正确图像，因在扫描时样品本身会产生流动。针尖扫描式原子力显微镜正是为解决上述问题而设计的。设计的一 个技术难点是其光束跟踪系统的设计。 一种方案是让整个光学检测模块与针尖一起扫描。例如美国专利技术专利N0.5025658，如图1所示。该装置 将激光器1与光电探测器IO封装在一起并固定在扫描器上，跟随微悬臂 探针探针8的针尖一起扫描。该方案可消除由于激光器、光电探测器和 针尖相对位置变化而引入的虚假偏折。但是该方案也存在严重不足。首 先，扫描器负载大，致使扫描器共振频率下降，对外界振动噪声更敏感， 系统性能因此下降；其次，该方案是采用光学干涉法检测微悬臂...
【技术保护点】
一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，其特征是该装置由分立的激光光源模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器（１）和准直透镜（２），所述的扫描模块包括ｚ扫描器（４）、ｘｙ扫描器（５）、小孔光阑（３）、物镜（６）和微悬臂探针（８），所述的ｚ扫描器（４）和ｘｙ扫描器（５）构成扫描器，所述的小孔光阑（３）位于所述的ｚ扫描器（４）的顶端中心，所述的物镜（６）固定在所述的ｚ扫描器（５）的底端中间，所述的微悬臂探针（８）通过连接件（７）固定在所述的ｚ扫描器（５）的底端，所述的微悬臂探针（８）的针尖之背面的一固定点位于所述物镜（６）的焦点；所述的探测模块包括成像透镜...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：储敏，徐文东，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。