温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种针尖扫描式原子力显微镜的光束跟踪装置，由分立的激光光源模块、扫描模块和探测模块组成，所述的激光光源模块包括激光器和准直透镜，所述扫描模块包括ｚ扫描器、ｘｙ扫描器、小孔光阑、物镜和微悬臂探针，所述的ｚ扫描器和ｘｙ扫描器构成扫描器，所述小孔...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。