【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种利用全柔性混联机构组合压电陶瓷微驱动系统的用于扫描 电镜原位观察的三平移微动装置，属于材料结构与性能原位测试领域。
技术介绍
在工程材料领域，高性能微纳磁性材料和磁性信息记录材料等的研究一直 是热点，使用扫描电镜观察材料被划痕处理后的断裂性能、摩擦性能等的技术 是研究材料常用手段之一。但目前扫描电镜只能观察到材料裂纹扩展后或材料 相互摩擦后的静态显微景像，比如可以看到材料裂纹沿晶界扩展后的显微景 像，材料相互摩擦后的摩擦面，而对材料划痕过程的动态性能变化，比如材料 的相变(一些材料的相变过程很快，易被氧化)、裂纹在相中的扩展等动态过程， 却无法观察，最根本的原因是扫描电镜存放材料样品的真空试样室太小， 一般 只有0)25mm——050mm左右，无法将普通的划痕系统放置其中，只有在外面划 痕处理后，再静态放置在扫描电镜中，很多划痕过程中产生的动态信息产生流 失。对于一些高性能磁性材料，比如微纳磁性材料、磁性信息记录材料等， 划痕时产生的动态相变过程是记录其对力及电信号反应的关键性能之一，只有 在划痕过程中原位观察。因此，研究工程材料领域中扫描电...
【技术保护点】
一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置，包括底座、样品台、显微压头支架以及压电陶瓷微驱动装置，显微压头支架位于样品台上方，其特征在于所述的全柔性三平移混联微动装置由二自由度的全柔性平面并联机构与单自由度的全柔性机构串联一起组成混联机构，二自由度的全柔性平面并联机构为ｘ、ｙ向微动平移结构，单自由度的全柔性机构为ｚ向微动平移结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨启志，杨海波，马履中，尹小琴，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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