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本发明公开了一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置。它包括底座（１、２）、样品台（３）、显微压头支架（４）以及压电陶瓷微驱动器（５ａ、５ｂ、５ｃ），显微压头支架（４）位于样品台（３）上方，所述的全柔性三平移混联微动装置由二自由度的全...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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