本发明专利技术提供一种图案检查装置，其不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明机构的照度测定，且不会遗漏凹坑的存在。该图案检查装置，其摄像单元（５１）于工件（Ｗ）的宽度方向进行扫描，以摄像单元接收被反射照明机构（２１）照明了的配线图案像，以未图示的控制部予以存储。另外，来自于反射照明机构的照明光被反射构件（反射镜）（６０）反射，以摄像单元接收。控制部将反射构件的反射光进行图像处理，求出辉度，将此辉度与下限值进行比较，若比下限照度的辉度低的话，则视为反射照明光的照度降低，控制部停止装置运作，进行警报等的故障显示。另外，若反射构件的辉度为下限照度的辉度以上的话，控制部（４）进行所拍摄的配线图案的检查。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对形成于基板的图案照射照明光，获得被照明了的图案图 像，自动地进行检查的图案检查装置，特别涉及在每次进行图案的检查时， 可测定照明光的照度，防止不良遗漏的图案检查装置。
技术介绍
公知有如下的图案检查装置具备对带状工件的宽度方向赋予张力的 工件保持机构，对被该保持机构所保持的薄膜状带状工件照射照明光，通 过摄像机构，对形成于带状工件的图案予以摄像，进行图案检查(参照例 如专利文献l，专利文献2等)。另外，本专利技术者在先提案有如下的图案检查装置及图案检查方法在 对形成于透光性的基板上的图案照射照明光，根据所拍摄的图像判断图案 的良否的图案检査中，对透光性基板，进行下述照明，即利用由基板的形 成有图案的侧，以对检查区域倾斜地射入的方式进行照射的第1照明机构 的照明；及利用由与基板的形成有图案侧相反侧照射照明光的第2照明机 构的照明，并对基板，通过设置于第1照明机构侧的摄像机构，对基板的 图案进行摄像(日本特愿2007-137577号)。通过使用此图案检查装置及图案检查方法，根据由摄像机构所拍摄的 图像的辉度分布图案，能够检测配线图案的线宽及图案上有无凹坑(凹部； pit)，能以1次的摄像图像进行凹坑的检测与图案的线宽的测定，因此能够 在短时间内进行有无凹坑的存在与图案的宽度检查。日本特开2004-28597号公报 日本特开2006-17642号公报若依据上述日本特愿2007-137577号，通过利用对检查区域倾斜地照 射的第1照明机构(反射照明机构)的照明光，检测位于图案上的凹坑。详细 而言，当在图案上存在有凹坑时，则被该部分所反射的照明光射入至摄像 机构，作为明亮的部分被摄像。另外，通过从与形成有基板的图案侧相反 侧进行照射的第2照明机构(透射照明机构)的照明光来测定图案的线宽。作为反射及透射照明机构的光源，可考虑使用灯、LED等，但无论使 用哪一个，照度均会因时间变化而降低。作为照度随时间降低的状态，考 虑下述3种组合。(1 )仅透射照明机构的照度降低的情况。(2) 仅反射照明机构的照度降低的情况。(3) 反射照明机构与透射照明机构双方降低的情况。以下，说明关于各自的情况，说明检查装置如何进行动作。 (1 )仅透射照明机构的照度降低的情况。透射照明机构，形成有配线图案的部分照明光不通过，而透光性的基 板的部分照明光通过，检测配线图案的线宽。当透射照明光的照度降低时，通过基板的部分的照明光的量变少，因 此，基板的部分也变暗，所拍摄的图像整体性变暗。因此，检查装置会错 误判断为线宽较粗的不良。以后，此线宽较粗的不良会连续产生。(2)仅反射照明机构的照度降低的情况。当反射照明机构的照度较低时，即使在图案的表面存在有凹部(凹坑)，也无法明亮地摄像，其结果，无法检测到凹部(凹坑)的存在。但，由于透射 照明机构的照度为正常，因此图案的线宽能正常地进行测定。因此，若在 线宽无异常的话，则会遗漏凹部(凹坑)的存在，造成视为良品的情况产生。(3)反射照明机构与透射照明机构双方降低的情况。与仅透射照明机构的照度降低的情况相同。即，由于通过基板的部分 的照明光的量变少，所以基板的部分也变暗，所拍摄的图像整体性变暗。 因此，检查装置会错误判断为线宽较粗的不良。以后，此线宽较粗的不良 会连续产生。上述(l)的仅透射照明机构的照度降低的情况、与上述(3)的反射照明机 构和透射照明机构双方降低的情况，会将良品错误判断为不良品，但至少 不会遗漏不良品。另外，若加上当线宽较粗的不良情况连续产生时使装置 停止并测定透射照明的照度的控制的话，能够减少将良品错误判断为不良 品的件数。但，在仅反射照明机构的照度降低的情况，会有遗漏不良，而使不良 品作为良品而流出，及未发现其照度降低的状态长时间持续的情况。为了 防止此情况，必须定期地测定反射照明机构的照度，确认是否为预先设定 的照度值(照度的下限值)以上来进行检查。为了测定照明光的照度，例如在工件的检查区域配置照度计，对该处 照射照明光，进行照度测定。但，照度也有以某时间点为分界，急剧地降低的情况，对预测成为下 限值以下的时间点极为困难。因此，需要频繁地进行照度的测定，但当照 度测定的次数增加时，则会造成工件的图案检查的时间相应变长，处理量降低。
技术实现思路
本专利技术是监于上述事情而开发完成的专利技术，其目的在于，不会降低图 案检查的处理量，在每次进行图案的检查时进行反射照明机构的照度测定， 不会遗漏凹坑的存在。在本专利技术中，以下述的方式解决上述问题。(1) 本专利技术提供的图案检査装置，具备对形成有图案的工件照射反射 照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄 像的摄像机构；及保持工件的工件保持机构，在摄像机构通过的区域设置 反射构件。此反射构件，将来自于反射照明机构的照明光朝摄像机构反射，摄像 机构接收此反射光。装置的控制部，基于此反射光的辉度，测定来自于反 射照明机构的照明光的照度并比较阈值，判定是否持续进行图案检查。艮口，上述控制部读入图像，当来自于反射构件的反射光存在时，将其 亮度与预先所设定的阈值进行比较。并且，如果所获得的照度为预先设定 的照度的下限值以上，则持续进行图案检査。另外，如果照度值比下限值 小，则不进行有无凹坑的存在的判定，停止图案检查。(2) 在上述(1)中，设置有具备反射照明机构与上述摄像机构的摄像单 元、和使工件保持机构相对地移动的移动机构，在上述摄像机构通过的区 域，设置有将来自于上述反射照明机构的光朝摄像机构进行反射的反射 构件。(3) 具备有对形成有图案的长条状的薄膜工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构所照明的上述图案进行摄像的摄像机构； 保持上述薄膜工件的工件保持机构；及将具备上述反射照明机构与上述摄 像机构的摄像单元朝上述工件的宽度方向移动的摄像单元移动机构。在上述摄像机构通过的区域，设有将来自于上述反射照明机构的光 朝摄像机构进行反射的反射构件。(4) 在上述(3)中，将反射构件设置于工件保持机构的工件的宽度方向两 侧(工件的宽度方向左右2部位)。在该情况，在进行检査的图案的摄像前后， 能够测定照明光的照度有无变化。(5) 在上述(1)(2)(3)(4)中，将反射构件做成为其反射面呈倒圆锥状或圆 锥状形状。专利技术的效果在本专利技术，能够获得以下的效果。(1) 在摄像机构通过的区域设置反射构件，基于摄像单元的摄像元件所 接收图像的反射构件的辉度，测定反射照明光的照度。因此，在检查区域 配置照度计，进行检査时，不需要使照度计由检查区域回避，能够作为对 图案进行摄像的一连串的顺序中的一部分来进行照度测定。因此，即使频繁地进行反射照明光的照度测定，图案检查的时间也不 会变长，处理量也不会降低。(2) 在每次对图案照射反射照明光进行摄像时，可进行照度测定，能够 防止在比下限值低的照度下所进行图案的摄像。因此，能够防止遗漏图案 上的凹部(凹坑)。(3) 在摄像机构为对工件的宽度方向相对地移动并进行摄像的情况时， 通过将反射构件设置于工件保持机构中的工件的宽度方向两侧(工件的宽度方向左右2个部位)，能够在各图案检查的前后进行照度测定。因此，即使在图案摄像途中，照度急剧地降低的情况，也能迅速地检测到照明光的 照度降低。附本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种图案检查装置，其特征为： 具备：对形成有图案的工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；及保持工件的工件保持机构， 在上述摄像机构的视野内，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄 像机构进行反射的反射构件。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：野本宪太郎，松田僚三，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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