图案检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图案检查装置，其不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明机构的照度测定，且不会遗漏凹坑的存在。该图案检查装置，其摄像单元（５１）于工件（Ｗ）的宽度方向进行扫描，以摄像单元接收被反射照明机构（２１）照明了的配线图案像，以未图示的控制部予以存储。另外，来自于反射照明机构的照明光被反射构件（反射镜）（６０）反射，以摄像单元接收。控制部将反射构件的反射光进行图像处理，求出辉度，将此辉度与下限值进行比较，若比下限照度的辉度低的话，则视为反射照明光的照度降低，控制部停止装置运作，进行警报等的故障显示。另外，若反射构件的辉度为下限照度的辉度以上的话，控制部（４）进行所拍摄的配线图案的检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对形成于基板的图案照射照明光，获得被照明了的图案图 像，自动地进行检查的图案检查装置，特别涉及在每次进行图案的检查时， 可测定照明光的照度，防止不良遗漏的图案检查装置。
技术介绍
公知有如下的图案检查装置具备对带状工件的宽度方向赋予张力的 工件保持机构，对被该保持机构所保持的薄膜状带状工件照射照明光，通 过摄像机构，对形成于带状工件的图案予以摄像，进行图案检查(参照例 如专利文献l，专利文献2等)。另外，本专利技术者在先提案有如下的图案检查装置及图案检查方法在 对形成于透光性的基板上的图案照射照明光，根据所拍摄的图像判断图案 的良否的图案检査中，对透光性基板，进行下述照明，即利用由基板的形 成有图案的侧，以对检查区域倾斜地射入的方式进行照射的第1照明机构 的照明；及利用由与基板的形成有图案侧相反侧照射照明光的第2照明机 构的照明，并对基板，通过设置于第1照明机构侧的摄像机构，对基板的 图案进行摄像(日本特愿2007-137577号)。通过使用此图案检查装置及图案检查方法，根据由摄像机构所拍摄的 图像的辉度分布图案，能够检测配线图案的线宽及图案上有无凹坑(凹部； pit本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案检查装置，其特征为：　具备：对形成有图案的工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；及保持工件的工件保持机构，　在上述摄像机构的视野内，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄 像机构进行反射的反射构件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：野本宪太郎，松田僚三，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]