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本发明提供一种图案检查装置，其不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明机构的照度测定，且不会遗漏凹坑的存在。该图案检查装置，其摄像单元（５１）于工件（Ｗ）的宽度方向进行扫描，以摄像单元接收被反射照明机构（２１）照明了的配线图案像，以未图示的...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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