【技术实现步骤摘要】
本技术涉及测量气体的仪器，更具体地说，涉及一种新型真空计。
技术介绍
真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程 度，以压力表示真空度。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校 准三个部分。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。真空 计种类繁多，工作原理各异，除极少数几种是直接测量压力外，其它几乎都 是间接测量压力的。被测量气体除少数情况外，多为混合气体。 一般所指压 力测量是指混合气体全压力测量。在近代真空测量技术中，分压力测量越来 越重要。分压力测量是指测出混合气体各组成成分的分压力。目前市场上的真空计种类， 一般按照真空计的真空度刻度方法和按照真 空计测量原理两种方法分类。按照真空度刻度方法分类，真空计包括以下两类(1) 绝对真空计直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身 几何尺寸计算出来或由测力确定。绝对真空计对所有气体都是准确的且与气 体种类无关，属于绝对真空计的有U型管压力计、压縮式真空计和热辐射真 空计等。(2) 相对真空计由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能 通过简单的计算进行刻度，必须进行校...
【技术保护点】
一种新型真空计，其特征在于，包括用于将真空中氧分压转为电信号输出的氧化锆氧传感器和用于根据所述氧化锆氧传感器输出的电信号进行测量控制的测量电路单元。
【技术特征摘要】
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