一种真空计快速动态真空校准方法技术

本发明专利技术公开了一种真空计快速动态真空校准方法，能够实现响应时间为ms级的真空计快速动态校准。本发明专利技术将采用静态膨胀法的真空校准装置中的上游室和下游室之间的真空阀门替换为超高真空插板阀；将被校真空计连接至上游室；根据被校真空计响应时间确定是否安装以及安装何种流导参数的限流元件；开始校准后，向上游室充入校准气体，直至达到初始压力；打开超高真空插板阀，开始气体快速膨胀过程，采集被校真空计的示值；依据公式pstd＝p10exp(-t/τ)计算动态真空校准标准压力pstd，绘制出pstd随时间t变化的动态真空校准标准压力曲线，并填入被校真空计的示值，获得校准结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空计的动态校准
，尤其涉及一种快速动态真空校准方法。
技术介绍
真空校准装置用于为真空计提供标准压力。目前用于粗低真空范围测量的真空计 的响应时间已经达到几十毫秒，而常用的静态膨胀法真空校准装置的标准压力建立时间通 常大于30s，显然不能满足上述真空计的动态校准需求。 文献"Dynamicvacuummeasurementbyanopticalinterferometric technique，'MeasurementScienceandTechnology'第 25 卷、2014 年、第 1 页~7 页'，，介 绍了意大利INR頂建立的基于迈克尔逊光学干涉仪的动态真空校准装置，该文献提出通过 测量真空度和温度引起的折射系数变化反演动态真空量值的快速变化，实现范围lOOPa~ 100kPa的动态真空校准。 采用该方法的优点在于其利用了光学干涉法响应快、灵敏度高、非接触性等优点， 测量得到动态真空校准的标准压力，但由于该装置采用的蝶阀控制该系统的动态膨胀过 程，此外，由于要将迈克尔逊光学干涉仪置于上游室内，导致上游室容积较大（约2L)，且为 保证足够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空计动态真空校准方法，其特征在于，将采用静态膨胀法的真空校准装置中的上游室(5)和下游室(16)之间的真空阀门替换为超高真空插板阀(9)，形成动态真空校准装置；该方法具体包括如下步骤：步骤一、将被校真空计(7)连接至所述动态真空校准装置中的上游室(5)；根据被校真空计(7)响应时间确定是否安装以及安装何种流导参数的限流元件(4)；被校真空计(7)的响应时间越长，选用的限流元件(4)的流导越小；不安装限流元件时，能够获得最短建立时间的标准压力；步骤二、通过抽气机组连续抽气上游室(5)、下游室(16)至所需本底压力；打开动态真空校准装置中的被校真空计(7)和各测量用真空计，进行稳定和调零；步...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：习振华，李得天，赵澜，孙雯君，盛学民，王永军，马亚芳，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃;62