下载一种真空计快速动态真空校准方法的技术资料

文档序号:12267022

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本发明公开了一种真空计快速动态真空校准方法,能够实现响应时间为ms级的真空计快速动态校准。本发明将采用静态膨胀法的真空校准装置中的上游室和下游室之间的真空阀门替换为超高真空插板阀;将被校真空计连接至上游室;根据被校真空计响应时间确定是否安装...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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