基于标准压力测量的电离真空计和质谱计校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置及方法，其中的校准装置，仅采用上游室、校准室、标样气体瓶、抽真空系统、插板阀以及真空计和质谱计，即可完成真空计与质谱计的校准，且校准范围可达到(10-2～10-9)Pa，相比于现有的校准装置，本发明专利技术的校准装置结构简单，可对各种类型的电离真空计和质谱计进行现场在线校准；采用带有限流圆形小孔的插板阀在开关两种状态下，通过确定两种情况下校准室的有效抽速来校准电离真空计和质谱计，从而将校准下限延伸至10-9Pa；采用固定流导元件在分子流条件下将已知气体流量的校准气体引入到校准室校准电离真空计和质谱计，压力校准范围宽，测量不确定度小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量领域，尤其涉及一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在 线校准装置及方法，校准范围为（10 2~10 9)Pa。
技术介绍
-个真空系统中最主要的参数就是真空度，电离真空计测量的真空系统的总压力 反应的是真空的数量方面，而质谱计测得的分压力既有数量方面，更重要的是反映真的质 量方面。在实际应用中，真空计或质谱计的性能会因为使用时间，工作条件而发生不可预期 的变化，导致仪器的灵敏度产生变化，因此，在应用于实际的真空系统中时，必须要对真空 计和质谱计进行校准。 目前，国内外校准电离真空计和质谱计的方法较多，主要分为直接比较法和动态 流导法，但两种方法的测量不确定度大，校准装置比较复杂，难以搬运，无法对真空计和质 谱计进行现场在线校准，且校准范围窄，校准范围难以向下延伸。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准 装置及方法，校准装置结构简单；校准方法的压力校准范围宽，测量不确定度小。 为了解决上述技术问题，本专利技术是这样实现的： 本专利技术的一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置，包括标样本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置，其特征在于，包括标样气体瓶(1)、抽气机组(2)、微调阀(3)、上游室(4)、电容薄膜真空计(5)、第一截止阀(6)、固定流导元件(7)、校准室(8)、干泵(9)、无油双涡轮分子泵抽气机组(10)、插板阀(11)、电离真空计(12)、第二截止阀(13)以及质谱计(14)；所述标样气体瓶(1)的出气口与上游室(4)的进气口之间串接微调阀(3)，上游室(4)通过第一截止阀(6)与抽气机组(2)的抽气通道连接；上游室(4)还设置电容薄膜真空计(5)；上游室(4)通过固定流导元件(7)与校准室(8)联通；所述无油双涡轮分子泵抽气机组(10)与干泵(...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：董猛，李得天，成永军，赵澜，孙雯君，习振华，袁征难，李莉，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃;62