温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种基于标准压力测量的电离真空计和质谱计在线校准装置及方法，其中的校准装置，仅采用上游室、校准室、标样气体瓶、抽真空系统、插板阀以及真空计和质谱计，即可完成真空计与质谱计的校准，且校准范围可达到(10-2～10-9)Pa，相比于...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。