本发明专利技术提供一种基板归正装置及半导体加工设备，其中，基板归正装置包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使基板位于指定位置，归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，主体支架用于与基板接触，以对基板进行归正，弹性缓冲组件设置在主体支架上，用于减缓主体支架与基板接触所产生的作用力，测控组件设置在主体支架上，用于驱动主体支架移动，并对主体支架的位置进行检测及控制。本发明专利技术提供的基板归正装置及半导体加工设备，能够降低废品率，并提高生产效率。
【技术实现步骤摘要】
基板归正装置及半导体加工设备
本专利技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种基板归正装置及半导体加工设备。
技术介绍
在液晶面板生产线和太阳能电池生产线上都会应用玻璃基板归正装置，通过该装置对玻璃基板进行归正，使玻璃基板在生产设备中运行更加平稳，并保证玻璃基板在传送过程中的安全。如图1所示，现有的玻璃基板归正装置包括相对设置的两组归正组件，每组归正组件均包括归正头11、支撑杆12、推板13、挡片14和传感器15，其中，支撑杆12的两端分别与推板13和归正头11连接，挡片14固定于推板13上，两组归正组件中的传感器15固定于预设位置，预设位置满足当两组归正组件中的挡片14均运动至遮挡各组中的传感器15的位置时，两组归正组件中的归正头11之间的距离为预设标准尺寸的玻璃基板10在两组归正组件相对的方向上的长度A。在对待归正的玻璃基板10进行归正时，两组归正组件中的推板13在驱动单元的驱动下带动支撑杆12、归正头11和挡片14相对运动，当推板13带动挡片14运动至遮挡住传感器15的位置时，传感器15向驱动单元发出信号，驱动单元在接收到信号后停止对推板13的驱动，完成对玻璃基板10的归正。但是，在液晶面板生产线和太阳能电池生产线上，有时会发生上游设备传送错误尺寸的玻璃基板10的情况，当错误尺寸的玻璃基板10在两组归正组件相对的方向上的长度大于长度A时，由于现有的玻璃基板归正装置只有当挡片14遮挡住传感器15时，驱动装置才会停止，这就会造成玻璃基板严重变形甚至破碎(如图2所示)，不仅会导致废品率增加，带来经济上的损失，还会影响生产设备的正常运行，导致加工效率降低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种基板归正装置及半导体加工设备，其能够降低废品率，并提高生产效率。为实现本专利技术的目的而提供一种基板归正装置，包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使所述基板位于指定位置，所述归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，其中，所述主体支架用于与所述基板接触，以对所述基板进行归正，所述弹性缓冲组件设置在所述主体支架上，用于减缓所述主体支架与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件设置在所述主体支架上，用于驱动所述主体支架移动，并对所述主体支架的位置进行检测及控制。优选的，所述主体支架包括承载台和归正部件，所述承载台用于承载所述弹性缓冲组件和所述测控组件，所述归正部件可移动的设置在所述承载台上，并能够随所述主体支架移动，用于与所述基板接触，所述弹性缓冲组件分别与所述承载台和所述归正部件连接，以减缓所述归正部件与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件用于驱动所述承载台移动，并分别对所述承载台和所述归正部件之间的相对位置进行检测及控制。优选的，所述测控组件包括驱动单元、第一传感器和第二传感器，其中，所述第一传感器设置在第一预设位置，用于在所述承载台移动至所述第一预设位置时向所述驱动单元发送第一检测信号；所述第二传感器设置在所述承载台上，并位于相对于所述归正部件远离所述指定位置的第二预设位置，用于在所述归正部件相对于所述承载台移动至所述第二预设位置时向所述驱动单元发送第二检测信号；所述驱动单元用于向所述承载台提供驱动力，以用于驱动所述承载台移动，并在接收到所述第一检测信号和/或所述第二检测信号时，控制所述承载台停止移动。优选的，所述第一传感器包括第一光电传感器，所述测控组件还包括第一挡板，所述第一挡板设置在所述承载台上，并能够跟随所述承载台移动，用于在所述承载台移动至所述第一预设位置时，将所述第一光电传感器遮挡。优选的，所述第二传感器包括第二光电传感器，所述测控组件还包括第二挡板，所述第二挡板设置在所述归正部件上，并能够跟随所述归正部件移动，用于在所述归正部件移动至所述第二预设位置时，将所述第二光电传感器遮挡。优选的，所述主体支架还包括导轨和滑块；所述导轨设置在所述承载台上，所述滑块与所述归正部件连接，并与所述导轨配合设置，用于在所述弹性缓冲组件减缓所述归正部件与所述基板接触所产生的作用力时，使所述归正部件能够沿所述导轨滑动。优选的，所述弹性缓冲组件包括压缩弹簧和固定板；所述固定板设置在所述承载台上，并相对于归正部件远离所述指定位置，所述压缩弹簧的一端与所述固定板连接，另一端与所述归正部件连接。优选的，所述归正部件包括归正头、归正杆和连接板；所述连接板设置在所述滑块上，并与所述压缩弹簧的另一端连接，所述归正杆沿竖直方向设置在所述连接板上，所述归正头设置在所述归正杆上，用于与所述基板接触。优选的，所述弹性缓冲组件还包括导向杆，所述连接板上设置有导向孔，所述导向杆的一端与所述固定板连接，另一端穿设于所述导向孔中，并能够在所述导向孔中移动，所述压缩弹簧套设在所述导向杆的周围。本专利技术还提供一种半导体加工设备，采用如本专利技术提供的所述基板归正装置对基板进行归正。本专利技术具有以下有益效果：本专利技术提供的基板归正装置，通过成对设置的归正组件对基板进行夹持，以使基板位于指定位置，实现对基板的归正。归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，在归正组件对基板进行夹持的过程中，通过测控组件驱动主体支架移动，以使主体支架能够与基板接触，并且通过测控组件对主体支架的位置进行检测及控制，以使主体支架在与基板接触的过程中，能够对基板进行归正。在主体支架与基板接触的过程中，借助弹性缓冲组件减缓主体支架与基板接触所产生的作用力，即可以降低主体支架与基板接触的过程中二者之间的相互作用力，以降低该过程中主体支架对基板施加的作用力，从而避免基板由于受到主体支架对其施加的作用力过大而损坏，以能够降低废品率，进而降低由于基板损坏而影响生产设备正常运行的概率，以能够提高生产效率。本专利技术提供的半导体加工设备，借助本专利技术提供的基板归正装置对基板进行归正，以能够降低废品率，并提高生产效率。附图说明图1为现有的玻璃基板归正装置在归正标准尺寸的玻璃基板时的示意图；图2为现有的玻璃基板归正装置在归正错误尺寸的玻璃基板时的示意图；图3为本专利技术实施例提供的基板归正装置在未进行归正时的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的基板归正装置在归正预设尺寸A的基板时的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的基板归正装置在归正大于预设尺寸A的尺寸B的基板时的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的基板归正装置相对于小于预设尺寸A的尺寸C的基板的结构示意图；附图标记说明：10-玻璃基板；11-归正头；12-支撑杆；13-推板；14-挡片；15-传感器；20-归正组件；21-承载台；22-归正部件；221-归正头；222-归正杆；223-连接板；23-弹性缓冲组件；231-压缩弹簧；232-固定板；241-第一传感器；242-第二传感器；243-第一挡板；244-第二挡板；25-导轨；26-滑块；27-导向杆；28-锁紧螺母；30-基板。具体实施方式为使本领域的技术人本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板归正装置，包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使所述基板位于指定位置，其特征在于，所述归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，其中，所述主体支架用于与所述基板接触，以对所述基板进行归正，所述弹性缓冲组件设置在所述主体支架上，用于减缓所述主体支架与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件设置在所述主体支架上，用于驱动所述主体支架移动，并对所述主体支架的位置进行检测及控制。/n
【技术特征摘要】
1.一种基板归正装置，包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使所述基板位于指定位置，其特征在于，所述归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，其中，所述主体支架用于与所述基板接触，以对所述基板进行归正，所述弹性缓冲组件设置在所述主体支架上，用于减缓所述主体支架与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件设置在所述主体支架上，用于驱动所述主体支架移动，并对所述主体支架的位置进行检测及控制。
2.根据权利要求1所述的基板归正装置，其特征在于，所述主体支架包括承载台和归正部件，所述承载台用于承载所述弹性缓冲组件和所述测控组件，所述归正部件可移动的设置在所述承载台上，并能够随所述主体支架移动，用于与所述基板接触，所述弹性缓冲组件分别与所述承载台和所述归正部件连接，以减缓所述归正部件与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件用于驱动所述承载台移动，并分别对所述承载台和所述归正部件之间的相对位置进行检测及控制。
3.根据权利要求2所述的基板归正装置，其特征在于，所述测控组件包括驱动单元、第一传感器和第二传感器，其中，所述第一传感器设置在第一预设位置，用于在所述承载台移动至所述第一预设位置时向所述驱动单元发送第一检测信号；
所述第二传感器设置在所述承载台上，并位于相对于所述归正部件远离所述指定位置的第二预设位置，用于在所述归正部件相对于所述承载台移动至所述第二预设位置时向所述驱动单元发送第二检测信号；
所述驱动单元用于向所述承载台提供驱动力，以用于驱动所述承载台移动，并在接收到所述第一检测信号和/或所述第二检测信号时，控制所述承载台停止移动。
4.根据权利要求3所述的基板归正装置，其特征在于，所述第一传感器包括第一光电传感器，所述测控组件还包括第一挡板，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宏岩，潘忠怀，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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