【技术实现步骤摘要】
基板归正装置及半导体加工设备
本专利技术涉及半导体设备
，具体地，涉及一种基板归正装置及半导体加工设备。
技术介绍
在液晶面板生产线和太阳能电池生产线上都会应用玻璃基板归正装置，通过该装置对玻璃基板进行归正，使玻璃基板在生产设备中运行更加平稳，并保证玻璃基板在传送过程中的安全。如图1所示，现有的玻璃基板归正装置包括相对设置的两组归正组件，每组归正组件均包括归正头11、支撑杆12、推板13、挡片14和传感器15，其中，支撑杆12的两端分别与推板13和归正头11连接，挡片14固定于推板13上，两组归正组件中的传感器15固定于预设位置，预设位置满足当两组归正组件中的挡片14均运动至遮挡各组中的传感器15的位置时，两组归正组件中的归正头11之间的距离为预设标准尺寸的玻璃基板10在两组归正组件相对的方向上的长度A。在对待归正的玻璃基板10进行归正时，两组归正组件中的推板13在驱动单元的驱动下带动支撑杆12、归正头11和挡片14相对运动，当推板13带动挡片14运动至遮挡住传感器15的位置时，传感器15向驱动单元发出信号，驱...
【技术保护点】
1.一种基板归正装置，包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使所述基板位于指定位置，其特征在于，所述归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，其中，所述主体支架用于与所述基板接触，以对所述基板进行归正，所述弹性缓冲组件设置在所述主体支架上，用于减缓所述主体支架与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件设置在所述主体支架上，用于驱动所述主体支架移动，并对所述主体支架的位置进行检测及控制。/n
【技术特征摘要】
1.一种基板归正装置，包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使所述基板位于指定位置，其特征在于，所述归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，其中，所述主体支架用于与所述基板接触，以对所述基板进行归正，所述弹性缓冲组件设置在所述主体支架上，用于减缓所述主体支架与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件设置在所述主体支架上，用于驱动所述主体支架移动，并对所述主体支架的位置进行检测及控制。
2.根据权利要求1所述的基板归正装置，其特征在于，所述主体支架包括承载台和归正部件，所述承载台用于承载所述弹性缓冲组件和所述测控组件，所述归正部件可移动的设置在所述承载台上，并能够随所述主体支架移动，用于与所述基板接触，所述弹性缓冲组件分别与所述承载台和所述归正部件连接，以减缓所述归正部件与所述基板接触所产生的作用力，所述测控组件用于驱动所述承载台移动，并分别对所述承载台和所述归正部件之间的相对位置进行检测及控制。
3.根据权利要求2所述的基板归正装置，其特征在于，所述测控组件包括驱动单元、第一传感器和第二传感器，其中，所述第一传感器设置在第一预设位置，用于在所述承载台移动至所述第一预设位置时向所述驱动单元发送第一检测信号；
所述第二传感器设置在所述承载台上，并位于相对于所述归正部件远离所述指定位置的第二预设位置，用于在所述归正部件相对于所述承载台移动至所述第二预设位置时向所述驱动单元发送第二检测信号；
所述驱动单元用于向所述承载台提供驱动力，以用于驱动所述承载台移动，并在接收到所述第一检测信号和/或所述第二检测信号时，控制所述承载台停止移动。
4.根据权利要求3所述的基板归正装置，其特征在于，所述第一传感器包括第一光电传感器，所述测控组件还包括第一挡板，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宏岩，潘忠怀，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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