离子布植机用的供气系统技术方案

本发明专利技术为一种离子布植机用的供气系统，该供气系统包含一金属室、一电性绝缘盒、一硬质绝缘管件及一可挠性管件；该金属室的内部设置有一第一及第二管路，其底部通过多个电性绝缘件固定在地板上；该电性绝缘盒悬挂在该金属室的一外侧，该硬质绝缘管件设置在该电性绝缘盒内，其一端连接自该金属室外壁穿出的该第二管路，另一端则连接至该穿入至该电性绝缘盒的该可挠性管件。因电性绝缘盒悬挂在该金属室一侧，为避免其中的硬质绝缘管件内的气体受金属室连接的高电压影响而产生电解离，此掺杂气体需为高压气体。且该硬质绝缘管件连接可挠性管件可吸收外界震动能量。

【技术实现步骤摘要】
离子布植机用的供气系统
本专利技术关于一种离子布植机用的供气系统，尤指一种可远程输送离子布植机用气体的供气系统。
技术介绍
半导体设备厂用的离子布植机包含有多个反应腔室，且各反应腔室会随着不同产品工艺配方改变所使用的掺杂气体种类，该些掺杂气体具有受高电压解离特性，也对人体具有毒性；该些掺杂气体会预先装罐后，设置在该离子布植机的一金属室内，并与金属室内的管路连接，透过管路将掺杂气体输送至离子布植机；此一金属室会与高电压源电连接，即该金属室连接至高电压源的高电位，而该金属室底面与地板之间会再设置有多个电性绝缘件，避免金属室内产生一高压差环境。由于气瓶容量有限，若未控制好离子布植机中各该反应腔室于工艺中的使用量，在工艺中的反应腔室会出现掺杂气体耗尽，而被迫中止工艺造成损失；因此，目前许多半导体设备厂开始研发如何将离子布植机的管路连接至远程的大量储存的掺杂气体源，使供气无虞。如图6所示，为一种气体传输装置，在金属室70与远程大量掺杂气体储放室71之间设置有一相互串接的电性绝缘管72及金属波型管73，金属波型管73因为延展性较佳可吸收外界震动能量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括：/n一金属室，电性连接一高电压源的高电位，该金属室的内部设置有一第一管路及一第二管路，该第二管路的一端与该第一管路连通，另一端则穿出该金属室一外侧；/n多个电性绝缘件，固定于该金属室的底部，且电性连接一高电压源的低电位；/n一电性绝缘盒，悬挂在该金属室的该外侧；/n一硬质绝缘管件，直立地设置在该电性绝缘盒内，该硬质绝缘管件具有一第一端及一第二端，该第一端连接自该金属室的外侧穿出的该第二管路的一端；以及/n一可挠性管件，其一端穿入该电性绝缘盒，并与该硬质绝缘管件的第二端连接，该可挠性管件的另一端用以连接至一大量掺杂气体储放室；其中：/n该电性绝缘...

【技术特征摘要】
20190425 TW 1081144151.一种离子布植机用的供气系统，其特征在于，包括：
一金属室，电性连接一高电压源的高电位，该金属室的内部设置有一第一管路及一第二管路，该第二管路的一端与该第一管路连通，另一端则穿出该金属室一外侧；
多个电性绝缘件，固定于该金属室的底部，且电性连接一高电压源的低电位；
一电性绝缘盒，悬挂在该金属室的该外侧；
一硬质绝缘管件，直立地设置在该电性绝缘盒内，该硬质绝缘管件具有一第一端及一第二端，该第一端连接自该金属室的外侧穿出的该第二管路的一端；以及
一可挠性管件，其一端穿入该电性绝缘盒，并与该硬质绝缘管件的第二端连接，该可挠性管件的另一端用以连接至一大量掺杂气体储放室；其中：
该电性绝缘盒的长度与其盒内气体压力乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差；
该硬质绝缘管件长度与其输送掺杂气体的气体压力的乘积大于该硬质绝缘管件的第一端与该第二管路连接处及该硬质绝缘管件的第二端与该可挠性管件连接处之间的最大解离电压差。


2.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：
一第三管路，穿入该电性绝缘盒；以及
一真空泵浦，串接于该第三管路，通过该第三管路提供该电性绝缘盒一负压环境。


3.如权利要求1所述的供气系统，进一步包含：
一第四管路，穿入该电性绝缘盒；以及
一高压非活性气体源，通过一气阀连接至该第四管路，通过该气阀开启将该高压非活性气体不间断地输入至该电性绝缘盒中；其中，该高压非活性气体源的气体压力大于该硬质绝缘管件所输送的...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：晨硕国际有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71