真空吸盘轴机构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴，主轴上设有旋转导气装置，主轴内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置，以实现负压腔通过旋转导气装置连通于外界的负压源，主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，接触部件上设有连通于负压腔的负压抽吸孔，具有弹性的接触部件可避免划伤晶圆，该真空吸盘轴机构利用负压腔内的负压将晶圆吸附在接触部件上，使得晶圆能够跟随主轴一同旋转，使晶圆的加工精度更高。

【技术实现步骤摘要】
真空吸盘轴机构
本技术涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种真空吸盘轴机构。
技术介绍
在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整，一般采用晶圆磨边机对晶圆实施磨边加工，具体地，晶圆磨边机采用相应的夹具装夹晶圆，并采用砂轮对晶圆的边缘进行打磨修整。目前的装夹方式有多种，卡盘形式较为常见，然而卡盘装夹容易损坏脆弱的晶圆，而且由于需要对晶圆的边缘进行打磨，因此卡盘装夹会与砂轮产生干涉，因此卡盘装夹不可取。当然，也可采用上下设置的两个夹持部件对晶圆的两个端面进行夹持，以免与砂轮产生干涉，然而，为了对晶圆的整个边缘进行打磨，还需要对晶圆进行旋转操作，这导致夹持部件需要多次对晶圆进行装夹，极易产生定位误差。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的目的是提供一种真空吸盘轴机构，以解决现有的装夹机构无法适配晶圆的磨边加工的问题。基于此，本技术提供了一种真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于所述基座的主轴，所述主轴上设有旋转导气装置，所述主轴内设有负压腔，所述负压腔连通于所述旋转导气装置，所述主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空吸盘轴机构，其特征在于，包括基座和转动连接于所述基座的主轴，所述主轴上设有旋转导气装置，所述主轴内设有负压腔，所述负压腔连通于所述旋转导气装置，所述主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，所述接触部件上设有连通于所述负压腔的负压抽吸孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空吸盘轴机构，其特征在于，包括基座和转动连接于所述基座的主轴，所述主轴上设有旋转导气装置，所述主轴内设有负压腔，所述负压腔连通于所述旋转导气装置，所述主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，所述接触部件上设有连通于所述负压腔的负压抽吸孔。


2.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，还包括固定连接于所述基座的轴套，所述主轴穿设于所述轴套且二者转动连接。


3.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述旋转导气装置包括连接环和连接槽，所述连接环上开设有连接于负压源的负压接口，所述连接槽环绕地设于所述主轴的外侧壁，且所述连接槽内开设有连通于所述负压腔的连接孔；所述主轴可转动地穿设于所述连接环，所述连接槽的开口和所述连接环的内侧壁相对设置，所述连接槽和连接环之间形成空腔。


4.根据权利要求3所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述连接槽的侧边设有套接于所述主轴的密封环，所述密封环的外侧壁可滑动地抵接于所述连接环的内侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄毅，何飞舍，沈艳东，陈章水，袁俏芳，
申请(专利权)人：广东长信精密设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44