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本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴，主轴上设有旋转导气装置，主轴内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置，以实现负压腔通过旋转导气装置连通于外界的负压源，主轴的自由端设有具有...
该专利属于广东长信精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东长信精密设备有限公司授权不得商用。

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