用于衬底容器的吹扫连接器及模块制造技术

本申请案涉及用于衬底容器的吹扫连接器及模块。所述衬底容器包含板、壳体、连接器及密封件，其中所述连接器经由螺母螺合及紧固，且所述密封件接触所述壳体、所述板及所述连接器中的每一者。所述板具有容纳所述连接器的端及所述螺母的凹部。包含止回阀的可现场维修的可移除的吹扫模块可与所述衬底容器一起使用，且可在所述板中的所述凹部中紧固到所述衬底容器。过滤器可紧固到所述连接器或包含在所述吹扫模块中。这些过滤器可具有大于所述连接器的内径的直径。

【技术实现步骤摘要】
用于衬底容器的吹扫连接器及模块
本专利技术涉及用于例如前开式晶圆传送盒(FOUP)的衬底容器中的连接器及吹扫模块，例如用于半导体制造中的连接器及吹扫模块。更特定来说，本专利技术涉及在衬底容器壳体与输送板之间并允许吹扫气体流入或流出衬底容器的带螺纹连接器。
技术介绍
衬底容器用于在半导体制造过程的各个阶段期间运输晶片。衬底容器包含例如前开式晶圆传送盒(FOUP)。FOUP通常包含提供内部空间来固持晶片的壳体，及用于与各种输送机及其它装置对接的板，例如使得FOUP可在处理设施周围移动。壳体及板例如通过焊接、连接器等彼此固定。在处理期间，例如在吹扫过程期间必须将气体引入到FOUP及从FOUP移除气体。这需要气体可进入或离开FOUP的一或多个位置。
技术实现思路
本专利技术涉及用于例如前开式晶圆传送盒(FOUP)的衬底容器中的连接器及吹扫模块，例如用于半导体制造中的连接器及吹扫模块。更特定来说，本专利技术涉及在衬底容器壳体与输送板之间并允许吹扫气体流入或流出衬底容器的带螺纹连接器。衬底容器的壳体及衬底容器的板可由带螺纹连接器及位于带螺纹连接器、板与壳体之间的密封件结合。当将螺母拧紧在带螺纹连接器上以将板及壳体彼此固定时，密封件可被压缩。这个带螺纹连接器允许壳体与板之间的牢固连接，其是维持衬底容器的尺寸并允许成功地运输及处置衬底容器所需的。连接器可与控制流入或流出衬底容器的吹扫模块分离。可移除的可现场维修的组件可用作此类衬底容器的吹扫模块。可在不影响衬底容器的尺寸的情况下修理或更换这些可移除的可现场维修的组件。这些尺寸非常敏感，特别是对于将在制造半导体晶片期间用于自动化定位及其它操作中的衬底容器。这还允许维修或更换单元来代替更换整个衬底容器。此类连接器可使能够使用具有较大直径的过滤器，从而例如通过允许过滤器位于可移除的可现场维修的吹扫模块中或附接到连接器的端来减小对气体流入及流出衬底容器的阻力。在实施例中，一种衬底容器包含容器壳体，其具有带有开口的壁，及由所述壁界定的内部空间。所述容器壳体包含具有第一内径的壳体开口。所述衬底容器还包含经配置以固定到所述壳体的板。所述板包含表面、凹部，及位于所述凹部内的具有第二内径的开口。所述衬底容器进一步包含连接器。所述连接器包含具有小于所述第一内径及所述第二内径的外径的部分、具有第三内径的中空部分、具有大于所述第一内径的外径的第一端，及具有螺纹的第二端。螺母包含经配置以接合所述连接器的所述第二端的所述螺纹的螺纹。密封件安置在所述容器壳体与所述板之间。所述连接器的所述第一端位于所述容器壳体的第一侧上，且所述连接器的所述第二端、所述密封件及所述板位于所述容器壳体的与所述容器壳体的所述第一侧相对的第二侧上。所述连接器延伸通过所述壳体开口及所述板开口。当所述螺母螺合到所述连接器上并拧紧时，所述密封件接触所述容器壳体、所述板及所述连接器中的每一者。在实施例中，所述连接器上的所述螺纹及所述螺母上的所述螺纹中的至少一者包含锁定机构。在实施例中，所述密封件是o形环。在实施例中，所述连接器进一步包含：滤膜，其位于所述连接器的所述第一端处；滤网；及滤帽，其经配置以机械地接合所述连接器的所述第一端并将所述滤网及所述滤膜紧固到所述连接器的所述端。在实施例中，所述衬底容器进一步包含前吹扫模块，所述前吹扫模块包含止回阀及喷嘴，所述喷嘴包含具有小于所述第三内径的外径的端，其中所述前入口吹扫模块经定位使得所述喷嘴的所述端在所述连接器的所述中空部分内。在实施例中，所述前吹扫模块包含多个突片，且所述板包含经配置以接纳所述前入口吹扫模块的所述突片的多个斜坡式狭槽。在实施例中，所述多个突片中的每一者包含凹部，且所述板包含经配置以接合所述凹部的多个棘爪肋。在实施例中，所述连接器包含具有开口的出口，其中所述开口的中心偏离所述连接器的所述内径的中心。在实施例中，扩散管连接到所述出口。在实施例中，当所述螺母螺合到所述连接器上时，所述螺母及所述连接器的所述第二端完全位于所述凹部内。在实施例中，滤膜位于所述凹部内。在实施例中，所述滤膜具有大于所述连接器的所述内径的直径。在实施例中，所述衬底容器包含后吹扫入口模块，所述后吹扫入口模块包含：索环，其包含止回阀；滤膜；网格，其经配置以支撑所述滤膜；及后吹扫入口模块主体。所述后吹扫入口模块主体包含具有大于所述索环的外径的内径并经配置以接纳所述索环的部分，及具有小于所述第三内径的外径的喷嘴。所述喷嘴的端位于所述连接器内。在实施例中，所述索环是包含衬底及弹性体组件的包覆成型索环，其中所述衬底包括聚碳酸酯及碳纳米管中的至少一者。所述弹性体组件由弹性体形成并包覆成型到所述衬底上。在实施例中，所述止回阀是伞形阀。在实施例中，所述滤膜具有大于所述第三内径的直径。在实施例中，所述后入口吹扫模块主体包含多个突片，且所述板包含各自经配置以接纳所述多个突片中的一者的多个斜坡式狭槽。在实施例中，所述后入口吹扫模块主体包含多个指状件，所述多个指状件经配置以接合所述板以当所述多个突片完全在所述多个狭槽内时防止所述后吹扫入口模块旋转。在实施例中，一种前开式晶圆传送盒包含：壳体，其包含前开口及内部空间；板，其经配置以固定到所述壳体；连接器，其包含具有内径的带螺纹端，所述连接器延伸通过所述壳体及所述板并在所述带螺纹端处经由螺母紧固；及可更换的可现场维修的入口或出口模块，其包含止回阀及喷嘴，所述喷嘴具有外径小于所述连接器的所述带螺纹端的所述内径的端。在这个实施例中，所述可更换的可现场维修的入口或出口模块位于所述板中，且所述喷嘴的所述端位于所述连接器的所述带螺纹端的所述内径内。在实施例中，所述可更换的可现场维修的入口或出口模块是选自以下各者的群组的模块：前入口吹扫模块，其中所述止回阀是经配置以允许流入所述壳体的伞形止回阀；前出口吹扫模块，其中所述止回阀是经配置以允许流出所述壳体的机械止回阀；或后入口吹扫模块，其中所述止回阀是经配置以允许流入所述壳体的伞形止回阀，所述后入口吹扫模块进一步包含索环及滤膜。附图说明图1是根据实施例的衬底容器的部分的分解图，其中壳体经由连接器结合到板。图2是根据实施例的在衬底容器的壳体内的连接器处的过滤器连接的分解图。图3是根据实施例的过滤器及连接器的端的截面图。图4是根据实施例的入口吹扫模块的分解图。图5是根据实施例的出口吹扫模块的分解图。图6是根据实施例的安装在衬底容器中的吹扫模块的仰视图。图7是根据实施例的入口吹扫模块的截面图。图8A是根据实施例的与衬底容器的壳体组装在一起时的连接器的俯视图。图8B是根据实施例的扩散管及连接器的分解图。图9是根据实施例的衬底容器的截面图，所述衬底容器包含根据图8A及8B的连接器以及根据图7的入口吹扫模块。图10是根据实施例的安装在衬底容器中的吹扫模块的仰视图。具体实施方式本专利技术涉及用于例如前开式晶圆传送盒(FOUP)的衬底容器中的连接器及吹扫模块，例如用于半导体制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底容器，其包括：/n容器壳体，其包含壁及由所述壁界定的内部空间，所述容器壳体进一步包含具有第一内径的壳体开口；/n板，其经配置以固定到所述壳体，所述板包含表面、来自第一表面的凹部，及位于所述凹部内的具有第二内径的板开口；/n连接器，其包含具有小于所述第一内径及所述第二内径的外径的部分、具有第三内径的中空部分、具有大于所述第一内径的外径的第一端，及具有螺纹的第二端；/n螺母，其具有经配置以接合所述连接器上的所述螺纹的螺纹；及/n密封件，其安置在所述容器壳体与所述板之间，/n其中所述连接器的所述第一端位于所述容器壳体的第一侧上，且所述连接器的所述第二端、所述密封件及所述板位于所述容器壳体的与所述容器壳体的所述第一侧相对的第二侧上，/n其中所述连接器延伸通过所述壳体开口及所述板开口，且/n其中当所述螺母螺合到所述连接器上并拧紧时，所述密封件接触所述容器壳体、所述板及所述连接器中的每一者。/n

【技术特征摘要】
20190426 US 62/839,1241.一种衬底容器，其包括：
容器壳体，其包含壁及由所述壁界定的内部空间，所述容器壳体进一步包含具有第一内径的壳体开口；
板，其经配置以固定到所述壳体，所述板包含表面、来自第一表面的凹部，及位于所述凹部内的具有第二内径的板开口；
连接器，其包含具有小于所述第一内径及所述第二内径的外径的部分、具有第三内径的中空部分、具有大于所述第一内径的外径的第一端，及具有螺纹的第二端；
螺母，其具有经配置以接合所述连接器上的所述螺纹的螺纹；及
密封件，其安置在所述容器壳体与所述板之间，
其中所述连接器的所述第一端位于所述容器壳体的第一侧上，且所述连接器的所述第二端、所述密封件及所述板位于所述容器壳体的与所述容器壳体的所述第一侧相对的第二侧上，
其中所述连接器延伸通过所述壳体开口及所述板开口，且
其中当所述螺母螺合到所述连接器上并拧紧时，所述密封件接触所述容器壳体、所述板及所述连接器中的每一者。


2.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述连接器上的所述螺纹及所述螺母上的所述螺纹中的至少一者包含锁定机构。


3.根据权利要求1所述的衬底容器，其中所述密封件是o形环。


4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·D·埃格姆，M·V·史密斯，M·A·富勒，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US