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本发明提供一种基板归正装置及半导体加工设备，其中，基板归正装置包括成对设置的归正组件，用于通过夹持基板以使基板位于指定位置，归正组件包括主体支架、弹性缓冲组件和测控组件，主体支架用于与基板接触，以对基板进行归正，弹性缓冲组件设置在主体支架上...
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