【技术实现步骤摘要】
一种芯片封装键合工艺流程的MES处理方法
本专利技术涉及MES系统建模方法,尤其涉及一种芯片封装键合工艺流程的MES处理方法。
技术介绍
半导体封装技术伴随集成电路而生,其主要功能是电源分配、信号分配、散热和保护。随着芯片技术的发展,行业对高性能低损耗芯片的不断追求,芯片不断小型化。高密度硅通孔(TSV,ThroughSiliconVia)技术和Fan-Out扇出技术由于其灵活、高密度、适于三维集成,而成为目前先进封装的核心技术。基于硅通孔的转接板集成技术作为先进系统集成技术,可实现多芯片高密度三维集成,但硅基转接板的成本高且电学性能差,使其市场化运用受限。作为一种可能替代硅基转接板的材料,玻璃通孔(TGV,ThroughGlassVia)技术因优良的高频电学特性、低成本、易于获取、生产工艺简单、机械稳定性强、应用领域广泛(高频领域、光电集成领域、MEMS封装领域)等众多优势,正在成为当前的研究热点。实际生产过程中,若要利用TGV技术和Fan-Out扇出技术实现圆片级封装以提升封装效率,需涉及到一个关键工艺“ ...
【技术保护点】
1.一种芯片封装键合工艺流程的MES处理方法,其特征在于,包括步骤:/n(1)同步生产订单,并创建生产工单,创建子母工艺流程,并为生产工单匹配对应的子母工艺流程,然后确认投产;/n(2)根据生产工单创建生产批次,包括创建母批次和子批次,派发生产车间;/n(3)子母批次生产流转,在键合点汇合,并进行键合采集与关联。/n
【技术特征摘要】
1.一种芯片封装键合工艺流程的MES处理方法,其特征在于,包括步骤:
(1)同步生产订单,并创建生产工单,创建子母工艺流程,并为生产工单匹配对应的子母工艺流程,然后确认投产;
(2)根据生产工单创建生产批次,包括创建母批次和子批次,派发生产车间;
(3)子母批次生产流转,在键合点汇合,并进行键合采集与关联。
2.根据权利要求1所述的芯片封装键合工艺流程的MES处理方法,其特征在于,所述步骤1包括:
(1.1)根据生产订单创建生产工单;
(1.2)选取产品工艺流程,包括主流程和键合子流程;
(1.3)在生产工单上,匹配产品的主流程和子流程;
(1.4)对生产工单设定计划投产日期,以及投产的车间/产线;
(1.5)对生产工单确认投产下达。
3.根据权利要求2所述的芯片封装键合工艺流程的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(1.2)前还包括:创建并命名工艺流程,包括主流程和键合子流程。
4.根据权利要求1所述的芯片封装键合工艺流程的MES处理方法,其特征在于,所述步骤2包括:<...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐祖峰,丁小果,桂芳,张益忠,
申请(专利权)人:江苏泰治科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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