内置式结构紧凑型旋转阴极装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中靶管设置在阴极壳体内并通过单滚动轴承与旋转驱动装置构成传动连接以使靶管在旋转驱动装置的驱动下旋转，导电电刷与旋转驱动装置相连并与外部电源装置相导通，冷却液管路用于对靶管进行冷却。本发明专利技术的优点是：1)单滚动轴承和动静环的密封结构配合使用极大的压缩了阴极端部的尺寸空间，提高了基片成膜的均匀区；2)尾部取消了固定或支撑结构可以增加基片成膜的均匀区；3)可以在有限的空间内，在不减小平面阴极装置基片均匀区的情况下可以实现装置的升级。

【技术实现步骤摘要】
内置式结构紧凑型旋转阴极装置
本专利技术涉及薄膜制备
，尤其是一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置。
技术介绍
提高基片成膜的均匀区长度一直是薄膜生产过程的追求目标，这就要求在真空腔体高度或长度确定的情况下，尽可能的压缩阴极端部和尾部固定或支撑结构的“无效”空间，把腔体内的空间留给靶管的溅射区域。市场上流行的磁控溅射装置，主要有旋转磁控溅射装置和平面磁控溅射装置。对于传统的旋转磁控溅射装置，由于真空生产工艺对漏率的要求，为了保证旋转的稳定性，往往在阴极端内部结构采用双轴承结构，这种导致阴极端部结构占用空间较大，并配置了尾部固定或支撑结构，占用了真空腔体内部的“有效”镀膜区域，相同的腔体高度或长度，镀膜均匀区相对较短。而对于平面磁控溅射装置，因为其没有旋转机构，在相同的高度或长度的真空腔体内，靶材有效的镀膜区域相对较长。平面阴极因为存在靶材利用率问题，在使用者升级平面阴极到旋转阴极的时候，往往有端部空间受限的影响，这样只能通过牺牲基片成膜的均匀区来实现。
技术实现思路
本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中所述靶管设置在所述阴极壳体内并通过单滚动轴承与所述旋转驱动装置构成传动连接以使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转，所述导电电刷与所述旋转驱动装置相连并与所述外部电源装置相导通，所述冷却液管路用于对所述靶管进行冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中所述靶管设置在所述阴极壳体内并通过单滚动轴承与所述旋转驱动装置构成传动连接以使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转，所述导电电刷与所述旋转驱动装置相连并与所述外部电源装置相导通，所述冷却液管路用于对所述靶管进行冷却。


2.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述旋转驱动装置包括伺服电机、传动机构、芯轴传动机构，所述伺服电机通过所述传动机构与所述芯轴传动机构构成传动配合，所述芯轴传动机构与一靶管连接法兰相固定，所述靶管连接法兰与所述靶管相连接固定，使所述靶管在所述伺服电机的驱动下旋转。


3.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述靶管设置有磁棒固定座，所述磁棒固定座的一端与所述阴极壳体相固定，另一端支撑所述靶管内的磁棒，所述磁棒与所述磁棒固定座之间构成限位约束，使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转时处于静止状态。


4.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述冷却液管路包括冷却液管接头、冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳伟，曹永军，陈建飞，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31