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本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中靶管设置在阴极壳体内并通过单滚动轴承与旋转驱动装置构成传动连接以使靶管在旋转驱动装置的驱动下旋转，...
该专利属于光驰科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技(上海)有限公司授权不得商用。

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