真空箱氦检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为真空箱氦检漏装置。真空室（５）内有被检件（１６），氦质谱检漏仪（８）与抽空装置（９）连接，真空室（５）与抽空装置（１０）连接，电控装置（１１）与抽空装置（１０）、氦质谱检漏仪（８）的输出、真空室（５）的行程开关、电磁阀（３）、（４）、（６）、真空室的真空计（７）连接，氦质谱检漏仪（８）通过电磁阀（６）与真空室（５）连接，电磁阀（３）位于连接真空室（５）与抽空装置（１０）的管道上，电磁阀（４）位于连接真空室（５）与充氦装置的管道上。结构简单，使用方便，检漏效率高。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术与用氦质谱检漏仪检测器件漏孔的装置有关。技术背景现有的氦气检漏装置结构复杂，生产效率低，检漏成本高，操作使用不便。技术的内容本技术的目的是提供一种结构简单，功耗低，检测效率高，最低可检漏率低，使用方便的真空箱氦检漏装置。本技术是这样实现的本技术真空箱氦检漏装置。真空室5内有被检件16，氦质谱检漏仪8与抽空装置9连接，真空室5与抽空装置10连接，电控装置11与抽空装置10、氦质谱检漏仪8的输出、真空室5的行程开关、电磁阀3、4、6、真空室的真空计7连接，氦质谱检漏仪8通过电磁阀6与真空室5连接，电磁阀3位于连接真空室5与抽空装置10的管道上，电磁阀4位于连接真空室5与充氮装置的管道上。本技术真空室抽空装置10有抽空泵2通过管道12与真空箱5连接，管道12上连接有电磁阀3和真空计7，管道12与管道013连接，管道13上有电磁阀4，检漏仪抽空装置9有检漏仪抽空泵1通过管道14与氦质谱检漏仪8连接，氦质谱检漏仪8通过管道15与真空室5和电磁阀4连接，电磁阀4与充氦装置连接，管道15上有电磁阀6。本技术电控装置11为可编程控制器S200型，其输出端与电磁阀，控制灯，打印机连接，其输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空箱氦检漏装置。真空室（５）内有被检件（１６），氦质谱检漏仪（８）与抽空装置（９）连接，真空室（５）与抽空装置（１０）连接，电控装置（１１）与抽空装置（１０）、氦质谱检漏仪（８）的输出、真空室（５）的行程开关、电磁阀（３）、（４）、（６）、真空室的真空计（７）连接，氦质谱检漏仪（８）通过电磁阀（６）与真空室（５）连接，电磁阀（３）位于连接真空室（５）与抽空装置（１０）的管道上，电磁阀（４）位于连接真空室（５）与充氦装置的管道上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张果，王洪军，李健，张福，
申请(专利权)人：成都东方仪器厂，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]