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本实用新型为真空箱氦检漏装置。真空室（５）内有被检件（１６），氦质谱检漏仪（８）与抽空装置（９）连接，真空室（５）与抽空装置（１０）连接，电控装置（１１）与抽空装置（１０）、氦质谱检漏仪（８）的输出、真空室（５）的行程开关、电磁阀（３）、（...
该专利属于成都东方仪器厂所有，仅供学习研究参考，未经过成都东方仪器厂授权不得商用。

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