弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种线性优异的弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置。一种弹性波滤波器装置，具备：天线端子，与天线连接；输入或输出端子；以及弹性波滤波器，连接在天线端子与输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，弹性波谐振器具有：压电体层(16)；IDT电极(17)，设置在压电体层上；低声速膜(15)，传播的体波的声速与在压电体层传播的弹性波的声速相比为低速；以及基板(14)，传播的体波的声速与在压电体层传播的弹性波的声速相比为高速，且由半导体构成，在基板上隔着低声速膜层叠有压电体层，在压电体层上，与天线端子连接的引绕布线(13)配置在设置于压电体层上的绝缘膜(12)上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置
本技术涉及具有在由半导体构成的基板与压电体层之间层叠有其它材料的构造的弹性波滤波器装置以及复合滤波器装置。
技术介绍
在智能电话的RF级中，为了应对许多的频段，使用多工器等复合滤波器装置。例如，在下述的专利文献1记载的多工器中，在天线端子连接有第一弹性波滤波器～第三弹性波滤波器。第一弹性波滤波器具有低频段蜂窝频带的通带。此外，第二弹性波滤波器具有GPS、GLONASS的通带。第三弹性波滤波器具有中频段蜂窝频带的通带。另一方面，下述的专利文献2公开了具有由Si构成的支承基板的弹性波装置。在由Si构成的支承基板上依次层叠有低声速膜、压电体层以及IDT电极。由Si构成的支承基板是高声速材料，因此通过上述由Si构成的支承基板以及低声速膜的层叠构造，可有效地将弹性波封闭在压电体层内。在先技术文献专利文献专利文献1：WO2016/117676A1专利文献2：WO2012/086639A1
技术实现思路
技术要解决的课题像在专利文献1记载的那样，在将多个滤波器公共化而成的多工器的情况下，多数情况下由于同时发送多个信号而产生的失真会成为问题。例如，在从第三弹性波滤波器发送Band7Tx信号时，从天线端子由从相同的智能电话内的其它电路泄漏过来的5GHzWiFi频带的信号和Band7Tx的信号产生与Band7Rx的频带一致的二阶失真。因此，Band7Rx的接收灵敏度有可能下降。因此，在多工器等复合滤波器装置中，要求线性比以往的带通型滤波器优异。另一方面，本申请的专利技术人们发现：在专利文献2记载的在由Si构成的支承基板上层叠了低声速膜的构造中，线性不充分。因此，若将这种构造的弹性波滤波器用于多工器等复合滤波器装置，则接收信号等中的失真的产生尤其会成为问题。本技术的目的在于，提供一种线性优异的弹性波滤波器装置，是具有在由半导体构成的基板与压电体层之间层叠有其它材料的构造的弹性波滤波器装置。本技术的另一个目的在于，提供一种复合滤波器装置，是具有本技术的弹性波滤波器装置的复合滤波器装置，信号的失真少。用于解决课题的技术方案本申请的第一技术是一种弹性波滤波器装置，具备：天线端子，与天线连接；输入或输出端子；以及弹性波滤波器，连接在所述天线端子与所述输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，所述弹性波谐振器具有：压电体层；IDT电极，设置在所述压电体层上；低声速膜，传播的体波(bulkwave)的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为低速；以及基板，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速，且由半导体构成，在所述基板上隔着所述低声速膜层叠有所述压电体层，在所述压电体层上，与所述天线端子连接的引绕布线配置在设置于所述压电体层上的绝缘膜上。本申请的第二技术是一种弹性波滤波器装置，具备：天线端子，与天线连接；输入或输出端子；以及弹性波滤波器，连接在所述天线端子与所述输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，所述弹性波谐振器具有：基板，由半导体构成；压电体层，设置在由所述半导体构成的基板上，具有相互对置的第一主面、第二主面；第一电极，设置在所述压电体层的所述第一主面上；以及第二电极，设置在所述压电体层的所述第二主面，隔着所述压电体层与所述第一电极对置，还具备：绝缘膜，设置在所述压电体层上；以及引绕布线，设置在所述绝缘膜上，且与所述天线端子连接。以下，将第一技术以及第二技术统称为本技术。在本技术涉及的弹性波滤波器装置的某个特定的方面中，所述基板是硅基板。在本技术涉及的弹性波滤波器装置的另一个特定的方面中，所述绝缘膜由合成树脂构成。在本技术涉及的弹性波滤波器装置的另一个特定的方面中，所述绝缘膜由无机绝缘性材料构成。本技术涉及的复合滤波器装置具备：按照本技术构成的弹性波滤波器装置；以及至少一个其它弹性波滤波器装置，公共连接于所述天线端子。本技术涉及的复合滤波器装置可以是多工器。此外，本技术涉及的复合滤波器装置可以具有如下结构，即，包含多个弹性波滤波器装置，所述多个弹性波滤波器装置中的至少一个弹性波滤波器装置为按照本技术构成的弹性波滤波器装置，所述多个弹性波滤波器装置经由开关公共连接于所述天线端子。技术效果在本技术涉及的弹性波滤波器装置中，能够提高线性。因此，在本技术涉及的复合滤波器装置中，能够减小信号的失真。附图说明图1是作为本技术的第一实施方式涉及的复合滤波器装置的多工器的电路图。图2是用于说明本技术的第一实施方式涉及的多工器的电极构造的示意性俯视图。图3是用于说明第一实施方式的多工器中的多个Band的信号的收发方式的示意图。图4是在第一实施方式的多工器中使用的弹性波谐振器部分的主视剖视图。图5是用于说明第一实施方式的多工器中的设置有引绕布线的部分的简图式主视剖视图。图6是示出第一实施方式的实施例以及比较例的失真特性的图。图7是示出应用本技术的复合滤波器装置的变形例的电路图。图8是用于说明用于第二实施方式的弹性波滤波器装置的弹性波谐振器部分的主视剖视图。图9是用于说明在本技术中用于构成弹性波滤波器装置的弹性波谐振器的变形例的主视剖视图。具体实施方式以下，参照附图对本技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本技术。另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是作为本技术的第一实施方式涉及的复合滤波器装置的多工器的电路图。多工器1具有与天线2连接的天线端子3。在天线端子3对第一弹性波滤波器5以及第二弹性波滤波器7的一端进行了公共连接。在天线端子3与接地电位之间，连接有电感器L1。电感器L1为了谋求阻抗匹配而设置。在天线端子3对第一弹性波滤波器5以及第二弹性波滤波器7的一端彼此进行了公共连接。第一弹性波滤波器5是使WiFi频带通过的滤波器，其通带为2401MHz～2483MHz。第一弹性波滤波器5具有输入输出端子4。在连结输入输出端子4和天线端子3的串联臂设置有串联臂谐振器S1～S5。此外，在串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S2与串联臂谐振器S3之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P2。在串联臂谐振器S3与串联臂谐振器S4之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P3。在串联臂谐振器S4与串联臂谐振器S5之间的连接点和接地电位之间，连接有并联臂谐振器P4。并联臂谐振器P2～P4的接地电位侧端部在公共连接点A处公共连接，并与接地电位连接。第一弹性波滤波器5是具有上述电路结构的梯型滤波器。上述串联臂谐振器S1～S5以及并联臂谐振器P1～P4均由弹性波谐振器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波滤波器装置，其特征在于，具备：/n天线端子，与天线连接；/n输入或输出端子；以及/n弹性波滤波器，连接在所述天线端子与所述输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，/n所述弹性波谐振器具有：压电体层；IDT电极，设置在所述压电体层上；低声速膜，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为低速；以及基板，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速，且由半导体构成，/n在所述基板上隔着所述低声速膜层叠有所述压电体层，在所述压电体层上，与所述天线端子连接的引绕布线配置在设置于所述压电体层上的绝缘膜上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170907 JP 2017-1718911.一种弹性波滤波器装置，其特征在于，具备：
天线端子，与天线连接；
输入或输出端子；以及
弹性波滤波器，连接在所述天线端子与所述输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，
所述弹性波谐振器具有：压电体层；IDT电极，设置在所述压电体层上；低声速膜，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为低速；以及基板，传播的体波的声速与在所述压电体层传播的弹性波的声速相比为高速，且由半导体构成，
在所述基板上隔着所述低声速膜层叠有所述压电体层，在所述压电体层上，与所述天线端子连接的引绕布线配置在设置于所述压电体层上的绝缘膜上。


2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其特征在于，
所述基板是硅基板。


3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器装置，其特征在于，
所述绝缘膜由合成树脂构成。


4.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器装置，其特征在于，
所述绝缘膜由无机绝缘性材料构成。


5.一种弹性波滤波器装置，其特征在于，具备：
天线端子，与天线连接；
输入或输出端子；以及
弹性波滤波器，连接在所述天线端子与所述输入或输出端子之间，具有多个弹性波谐振器，
所述弹性波谐振器具有：...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰裕一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP