弹性波元件制造技术

弹性波元件，具备：IDT电极(31)，具备多个电极指(32)，激励声表面波；第1基板(10)，所述IDT电极(31)位于上表面，厚度小于所述多个电极指(32)的反复间隔p的2倍，包含压电晶体；中间层，具备第1面和第2面，所述第1面与所述第1基板的下表面接合，包含横波声速比所述第1基板慢的材料；以及第2基板，与所述第2面接合，包含蓝宝石。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波元件
本专利技术涉及弹性波元件。
技术介绍
以往，以改善电特性为目的，已知在将支承基板和压电基板贴合而成的复合基板设置电极来制作弹性波元件。在此，弹性波元件例如被用作移动电话等通信设备中的带通滤波器。此外，已知复合基板作为压电基板使用铌酸锂、钽酸锂，作为支承基板使用硅、石英、陶瓷等的基板(参照日本特开2006-319679号公报)。
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，近年来，用于移动体通信的便携终端装置在推进小型化、轻量化的同时，为了实现高通信质量，要求具备更高的电特性的弹性波元件。例如，要求频率特性的偏差少的弹性波元件。本专利技术是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供电特性优异的弹性波元件。用于解决课题的手段本公开的弹性波元件具备IDT电极、第1基板、中间层和第2基板。IDT电极具备多个电极指，激励声表面波。关于第1基板，所述IDT电极位于其上表面，厚度小于所述多个电极指的反复间隔p的2倍，包含压电晶体。中间层具备第1面和第2面，所述第1面与所述第1基板的下表面接合，包含横波声本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波元件，具备：/nIDT电极，具备多个电极指，激励声表面波；/n第1基板，包含压电晶体且厚度小于以所述多个电极指的反复间隔定义的p的2倍，所述IDT电极位于该第1基板的上表面；/n中间层，具备第1面和第2面，所述第1面与所述第1基板的下表面接合，包含横波声速比所述第1基板慢的材料；以及/n第2基板，与所述第2面接合，包含蓝宝石。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180226 JP 2018-0317601.一种弹性波元件，具备：
IDT电极，具备多个电极指，激励声表面波；
第1基板，包含压电晶体且厚度小于以所述多个电极指的反复间隔定义的p的2倍，所述IDT电极位于该第1基板的上表面；
中间层，具备第1面和第2面，所述第1面与所述第1基板的下表面接合，包含横波声速比所述第1基板慢的材料；以及
第2基板，与所述第2面接合，包含蓝宝石。


2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其中，
所述中间层以氧化钛、氧化钽、氧化硅中的任一个为主要成分。


3.根据权利要求1或者2所述的弹性波元件，其中，
所述第1基板是X传播旋转Y切割的钽酸锂单晶基板。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波元件，其中，
所述中间层是0.08p以上且0.24p以下的厚度。

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤干，岸野哲也，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP