弹性波装置以及弹性波模块制造方法及图纸

弹性波装置(10A)具备：基板(11)；功能元件(12)，配置在基板(11)上；覆盖层(14)，配置在基板(11)上使得覆盖功能元件(12)；和保护层(15)，对覆盖层(14)进行覆盖。覆盖层(14)具有呈凸状弯曲的弯曲部(142)。在弯曲部(142)与基板(11)之间形成中空空间(17)，功能元件(12)配置在中空空间(17)内。弹性波装置(10A)还具备在弯曲部(142)与保护层(15)之间沿着弯曲部(142)的表面配置的导电部(16)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置以及弹性波模块
本专利技术涉及弹性波装置以及弹性波模块，进一步特定地，涉及电磁波的屏蔽性优异的弹性波装置的构造。
技术介绍
在便携式电话或者智能电话等电子设备中，使用了利用声表面波(SAW：SurfaceAcousticWave)或者体波(BAW：BulkAcousticWave，体声波)谐振器的弹性波装置。近年来，电子设备的小型化、薄型化得到发展，与此相伴，对于弹性波装置自身也期望小型化、低高度化。为了实现这一目的，例如在日本特表2016-515331号公报(专利文献1)中提出了如下的器件，该器件具备：载体基板；功能性构造体，形成在载体基板上；薄膜覆盖件，覆盖功能性构造体；以及平坦化层，覆盖薄膜覆盖件。被进行了小型化、低高度化的弹性波装置变得容易受到来自外部的电磁波的影响。进而，与弹性波装置相邻设置的其他装置变得容易受到来自弹性波装置的电磁波的影响。因此，在日本特表2016-515331号公报中提出了如下的器件，该器件还具备形成在平坦化层上的金属化层。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特表2016-515331号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题在从功能性构造体发出的电磁波或入射到功能性构造体的电磁波中，不仅包含在载体基板的法线方向上前进的电磁波，还包含在相对于载体基板的法线方向倾斜的方向上前进的电磁波。然而，在日本特表2016-515331号公报中提出的金属化层与载体基板平行地形成在平坦化层上。因此，在有限面积的金属化层中，不能充分地屏蔽在相对于载体基板的法线方向倾斜的方向上前进的电磁波。本公开正是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种电磁波的屏蔽性优异的弹性波装置以及弹性波模块。用于解决课题的手段根据本公开的某一方式的弹性波装置具备：基板；功能元件，配置在基板上；覆盖层，配置在基板上使得覆盖功能元件；和保护层，对覆盖层进行覆盖。覆盖层具有呈凸状弯曲的弯曲部。在弯曲部与基板之间形成中空空间。功能元件配置在中空空间内。弹性波装置还具备在弯曲部与保护层之间沿着弯曲部的表面配置的导电部。优选的是，弹性波装置还具备配置在基板上使得与功能元件连接的布线。在从基板的法线方向观察时，导电部配置为与布线不重叠。优选的是，覆盖层还具有沿着基板的平坦部。在将弯曲部中的距平坦部的最高点的高度设为H时，弯曲部包含：下侧弯曲部，距平坦部的高度不足H/2；和上侧弯曲部，距平坦部的高度超过H/2。导电部包含：下侧导电部，配置在下侧弯曲部与保护层之间；和上侧导电部，配置在上侧弯曲部与保护层之间。下侧导电部的面密度小于上侧导电部的面密度。优选的是，导电部具有网眼形状的图案、多个点形状集合的图案、多个长条形状集合的图案、以及形成了多个点形状的孔的图案中的任一个图案。优选的是，导电部不接地。根据本公开的另一个方式的弹性波模块具备第1弹性波装置和第2弹性波装置。第1弹性波装置以及第2弹性波装置各自具备：基板；功能元件，配置在基板上；覆盖层，配置在基板上使得覆盖功能元件；和保护层，对覆盖层进行覆盖。覆盖层具有呈凸状弯曲的弯曲部。在弯曲部与基板之间形成中空空间。功能元件配置在中空空间内。第1弹性波装置在基板的法线方向上与第2弹性波装置重叠地配置。弹性波模块还具备在第1弹性波装置的弯曲部以及第2弹性波装置的弯曲部中的至少一个与保护层之间沿着该弯曲部的表面配置的导电部。专利技术效果根据本公开的弹性波装置以及弹性波模块，电磁波的屏蔽性优异。附图说明图1是示出具备实施方式涉及的两个弹性波装置的弹性波模块的剖视图。图2是示出图1所示的弹性波装置所具备的导电部附近的结构的放大图。图3是示意性地示出在保护层的上表面形成了平坦的导电部的参考例涉及的弹性波装置的剖视图。图4是示意性地示出变形例1涉及的弹性波装置的剖视图。图5是将变形例2涉及的弹性波装置所具备的功能元件的周边进行了放大的俯视图。图6是沿图5所示的A-A线的剖视图。图7是将变形例3涉及的弹性波装置所具备的功能元件的周边进行了放大的俯视图。图8是沿图7所示的A-A线的剖视图。图9是将变形例4涉及的弹性波装置所具备的功能元件的周边进行了放大的俯视图。图10是沿图9所示的A-A线的剖视图。具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式详细进行说明。另外，对于图中的相同或相应部分，标注相同的附图标记，不重复其说明。附图用于帮助实施方式的理解，存在不一定严密地描绘的情况。例如，存在所描绘的构成要素或者构成要素间的尺寸的比率与说明书记载的它们的尺寸的比率不一致的情况。存在说明书记载的构成要素在附图中被省略的情况、省略个数来描绘的情况。图1是示出具备实施方式涉及的两个弹性波装置10A、10B的弹性波模块1的剖视图。本实施方式中的弹性波装置10A、10B包括梳齿状(IDT：InterDigitalTransducer，叉指换能器)电极作为功能元件。参照图1，弹性波装置10A、10B各自具备：基板11、多个功能元件12、布线13、覆盖层14以及保护层15。基板11例如通过钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)、矾土、硅(Si)以及蓝宝石那样的压电单晶材料、或者由LiTaO3或LiNbO3构成的压电层叠材料来形成。多个功能元件12配置在基板11上。功能元件12包括例如使用由铝、铜、银、金、钛、钨、铂、铬、镍、钼的至少一种构成的单体金属、或以它们为主要成分的合金等电极材料而形成的一对IDT电极。由具有压电性的基板11和IDT电极形成声表面波谐振器。布线13配置在基板11上，使得与功能元件12电连接。覆盖层14例如由树脂制的薄膜或无机膜构成，配置在基板11上使得覆盖功能元件12。保护层15例如由环氧系树脂等具有绝缘性的树脂构成，配置为对覆盖层14进行覆盖。在覆盖层14以及保护层15中的布线13上的一部分区域形成贯通孔，布线13露出。在贯通孔配置有连接端子20、21。连接端子20将弹性波装置10A的布线13与弹性波装置10B的布线13进行连接。连接端子21将弹性波装置10B的布线13与弹性波模块1的外部装置进行连接。弹性波装置10B在基板11的法线方向上与弹性波装置10A重叠地配置。弹性波装置10A和弹性波装置10B配置为相互的保护层15彼此对置。如图1所示，在从基板11的法线方向观察时，配置于弹性波装置10A的中央的功能元件12与配置于弹性波装置10B的中央的功能元件12重叠。导电部16配置于弹性波装置10A，使得配置于弹性波装置10A的中央的功能元件12不会受到来自配置于弹性波装置10B的功能元件12(特别是配置于中央的功能元件12)的电磁波的影响。导电部16还具有进行屏蔽使得从配置于弹性波装置10A的中央的功能元件12发出的电磁波不到达配置于弹性波装置10B的功能元件12(特别是配置于中央的功能元件12)的效果。图2是示出导电部16附近的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，其中，具备：/n基板；/n功能元件，配置在所述基板上；/n覆盖层，配置在所述基板上使得覆盖所述功能元件；和/n保护层，覆盖所述覆盖层，/n所述覆盖层具有呈凸状弯曲的弯曲部，/n在所述弯曲部与所述基板之间形成中空空间，/n所述功能元件配置在所述中空空间内，/n所述弹性波装置还具备：导电部，在所述弯曲部与所述保护层之间，沿着所述弯曲部的表面配置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171226 JP 2017-2492521.一种弹性波装置，其中，具备：
基板；
功能元件，配置在所述基板上；
覆盖层，配置在所述基板上使得覆盖所述功能元件；和
保护层，覆盖所述覆盖层，
所述覆盖层具有呈凸状弯曲的弯曲部，
在所述弯曲部与所述基板之间形成中空空间，
所述功能元件配置在所述中空空间内，
所述弹性波装置还具备：导电部，在所述弯曲部与所述保护层之间，沿着所述弯曲部的表面配置。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置还具备：布线，配置在所述基板上使得与所述功能元件连接，
在从所述基板的法线方向观察时，所述导电部配置为与所述布线不重叠。


3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
所述覆盖层还具有沿着所述基板的平坦部，
在将所述弯曲部中的距所述平坦部的最高点的高度设为H时，所述弯曲部包含：下侧弯曲部，距所述平坦部的高度不足H/2；和上侧弯曲部，距所述平坦部的高度超过H/2，
所述导电部包含：下侧导电部，配置在所述下侧弯曲部与所述保护层之间；和上侧导...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上和则，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP