侦测电极装置制造方法及图纸

一种侦测电极装置，其特征在于，包括：一做为电极的金属线；一棒状耐腐蚀物，将该金属线镶埋于该棒状耐腐蚀物内，并露出该金属线的二端；以及一密合部，位于该棒状耐腐蚀物的一端，与该棒状耐腐蚀物密合，并做为该侦测电极装置使用时的固定点；其中，该棒状耐腐蚀物于靠近该密合部之处，具有一泄漏引流孔，以在该侦测电极用以侦测一流体时，供被挤压至该棒状耐腐蚀物与该金属线之间的镶埋界面的该流体泄流之用。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种侦测电极，特别是涉及使用于高压或高腐蚀性化学储槽的侦测电极装置。
技术介绍
液体化学品供应系统是半导体制造过程中的相当重要的一个环节。液体化学品供应系统从进料作业区起，若由槽车送入工厂，即通过输送至储槽经由管线送至化学供应房及清净室等使用端，若是桶装或瓶装则通过货车在码头区卸货，再由堆高机或推车送至化学储存房或分送至化学供应房及清净室使用，使用后的废弃物转存至废液收集桶，再输送至废液槽或废液储存房储存。半导体制作工艺所需求的化学液常需要酸、碱等具有高腐蚀性(corrosive)的液体，并且需要维持相当高的纯度，以避免污染(特别是金属)以及确保晶片制造过程中的合格率。虽然这些半导体制作工艺中所使用的腐蚀性化学液，都是以经过特殊防蚀处理过的储槽来承装或储放，然而，厂务人员或品管人员仍然必须定期地采集储槽内的化学液样本，然后再将收集到的化学液样本进一步利用精密昂贵的微量分析仪器分析，才能确定该储槽内的化学液是否遭到金属污染。通常，这类污染的发生是由于储槽内部的防蚀内衬遭受化学破坏，产生微小穿孔瑕疵(pitting)，而使得储槽内的酸、碱等具有高腐蚀性的液体接触到储槽的金属壳体，与金属反应所致。因此，与本技术相同的申请人于台湾专利申请案第093119756号(将其并入本文做为参考)中提出一种实时在线监测储槽内衬破裂的技术手段，能及时通知生产线人员厂中储槽的状态以及储槽内化学液的品质，如此不但可以应用在厂区内的固定储槽，同时更可以广泛应用在输送过程中所使用的各种储槽容器，例如载运化学品的槽车等等，以实时监测储槽的内衬是否已经遭到破坏蚀穿，并控制半导体制作工艺单元，进而提高半导体制作工艺的品质与合格率。然而，对于此种使用于实时在线监测储槽内衬破裂技术手段的侦测电极，具有性质上的要求，例如，不能与储槽液体产生化学反应，需要具有抗化学腐蚀与抗高压的性质。耐腐蚀性高的贵金属是最适宜的材质，但是，因为若干储槽体积庞大，对应的电极尺寸需求也大，能使电极侦测点保持于化学液面下，若完全使用性质良好的贵金属材质做为电极，可耐高压及腐蚀，但是造价却极为昂贵，成本太高。因此，仍极需发展一种经济且良好抗高压及抗化学腐蚀性的侦测电极。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低成本且安全的侦测电极装置，以使用于密封高压的腐蚀性化学液体储槽，以供储槽内衬破裂的侦测。为达成上述目的，并依据本技术的一较佳实施例，本技术的侦测电极装置，包括一做为电极的金属线、一棒状耐腐蚀物以将金属线镶埋于其内并露出金属线的二端、及一位于棒状耐腐蚀物的一端且与棒状耐腐蚀物密合以做为侦测电极装置使用时的固定点的密合部，其中，棒状耐腐蚀物于靠近密合部之处，具有一泄漏引流孔，以于侦测电极用以侦测一流体时，供被压挤至棒状耐腐蚀物与金属线镶埋之镶埋界面的流体泄流之用。为达成上述目的，并依据本技术的另一较佳实施例，本技术的侦测电极装置包括一做为电极的金属线、一用以将金属线容置于其内并露出金属线的二端的棒状耐腐蚀物、及一位于棒状耐腐蚀物的一端且与棒状耐腐蚀物密合以做为侦测电极装置使用时的固定点的密合部，其中，棒状耐腐蚀物于靠近密合部之处，具有一泄漏引流孔，以于侦测电极用以侦测一流体时，供被压挤至棒状耐腐蚀物内部的流体泄流之用。本技术的侦测电极装置使用抗腐蚀金属细线做为电极，镶埋于抗腐蚀材料中，以增加其强度，如此可减少金属用量，降低成本；并且在侦测电极的液面上位置设有一泄漏引流孔，万一在高压下化学液体渗入侦测电极的镶埋界面时，可使化学液体冲至此泄漏引流孔而流出回到化学液体液面上，不至喷出储槽外，造成污染或危害操作人员健康，因此具安全性。附图说明图1为本技术的一具体实施例的侦测电极装置示意图； 图2为本技术的另一具体实施例的侦测电极装置示意图；图3为本技术的又另一具体实施例的侦测电极装置示意图；图4为本技术的仍另一具体实施例的侦测电极装置示意图；图5为本技术的一具体实施例的侦测电极装置使用于储槽时的示意图。具体实施方式请参阅图1，其显示依据本技术的一具体实施例的侦测电极装置示意图。如图1所示，侦测电极装置10包括一金属线12、一棒状耐腐蚀物14、及一密合部16。金属线12做为电极，材质较佳为导电性且为化学钝性，即，不与化学储槽中的流体(即为待测物)产生化学反应者。金属线的直径并无特别限制，细至2至3毫米或更细，均可使用，只要能达到导电的效果并且可良好地电连接至其它需要的电路导线即可。长度依化学储槽的深度而定，并无特别限制。本技术中，采用金属线，所需金属成本比采用金属棒(直径较粗者)做为电极时要低。棒状耐腐蚀物14，用以将金属线12镶埋于其内，及露出金属线12的二端12a及12b。棒状耐腐蚀物14的材质较佳为不与化学储槽中的流体(即为待测物)产生化学反应者，可选用耐腐蚀性高分子材质，例如，氟素聚合物树脂(fluoropolymer resin)材料所构成者，可包括有聚四氟乙烯(poly-tetra-fluoroethylene，PTFE)或全氟烷氧基链烷烃(per-fluoroalkoxy，PFA)等，但不限于此。一般，全氟烷氧基链烷烃(PFA)作为熔接两片聚四氟乙烯(PTFE)的接面接着材料。而其它铁氟龙材料，例如乙烯四氟乙烯共聚氟塑料(ethylene tetra-fluoroethylene，ETFE)或者乙烯丙烯氟化物(fluorinated ethylenepropylene，FEP)等等都可以作为棒状耐腐蚀物14的材质。棒状耐腐蚀物14的尺寸也无特别限制，用以将无刚性的金属线包覆于其中，并露出金属线两端。其较佳具有刚性，以使用在流体或液体中，不随液体漂流。在本技术的一具体实施例中，将金属线镶埋于半角的棒状耐腐蚀物14的剖面上，再覆盖另一半角的棒状耐腐蚀物14，紧密压合，使得侦测时，仅有露出棒状耐腐蚀物14的一端的金属线与待测液接触，其余部分的金属线则受到棒状耐腐蚀物14的支撑及保护。棒状耐腐蚀物14可为圆柱形、或任何形状的柱形。密合部16位于棒状耐腐蚀物14的一端且与棒状耐腐蚀物14密合，做为侦测电极装置使用时的固定点。密合部16可为全部由例如上述的耐腐蚀性高分子材质构成，或是由板状材质构成，再披覆如上述的耐腐蚀性高分子材质。密合部16为板状，而可为任何形状，例如圆形或方形等，主要是能够盖住储槽设置的侦测孔，使侦测电极装置与储槽密封接合。侦测电极装置与储槽接合的方式并无特别限制，例如可使密合部为圆柱形并且于柱面上制造螺纹，用以与储槽侦测孔壁的螺纹旋合。当使密合部16与储槽侦测孔壁密合后，即能够使侦测电极装置10受支撑而固定于储槽上。值得注意的是，依据本技术的侦测电极装置10，棒状耐腐蚀物14于靠近密合部16之处，具有一泄漏引流孔18，则当侦测电极装置10在一流体储槽中进行侦测时，若有因高压而被挤压至棒状耐腐蚀物14与金属线之间的镶埋界面的流体，可自泄漏引流孔18泄流回至流体本体中，以免循着镶埋界面流至棒状耐腐蚀物14位于储槽外部的一端而喷出，泄漏至环境中，造成污染并危害操作人员的健康。本技术的侦测电极装置以金属线的一端做为端子与外部设备电连接，以进行侦测。端子形状的设计本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：洪舜立，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：