【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微机电(micro electro mechanical system)装置与用以制造其的方法，且特别是涉及具有波纹图案的微机电装置与用以制造其的方法。
技术介绍
1、微机电元件是一种结合电子技术与机械工程制作而成的微型元件，通常可包含感测、处理及/或致动等功能。微机电元件已广泛地应用于消费性电子领域中。以扬声器为例，将微机电元件应用于扬声器可使扬声器的体积更小、功耗更低和可靠性更高，这些优势使微机电扬声器备受市场关注。然而，现有的微机电扬声器的性能仍然不足。
2、因此，有需要提出改良的微机电扬声器，其具有良好的性能。
技术实现思路
1、根据一实施例，提供微机电装置。微机电装置包含基板、在基板上的聚合物膜、贯穿基板的空腔、以及在基板上且在聚合物膜中的多个线圈结构。聚合物膜具有面对基板的下表面。聚合物膜包含配置于下表面的波纹图案。聚合物膜的一部分暴露于空腔中。
2、根据一实施例，提供用以制造微机电装置的方法。方法包含以下多个步骤。提供基板。在基板上形成多个线圈结构。在基板与多个线圈结构上形成介电层。移除介电层的第一部分以形成相邻于多个线圈结构的牺牲波纹图案。在介电层上形成聚合物膜，其中聚合物膜覆盖介电层的牺牲波纹图案。
3、为了对本专利技术的上述及其他方面有更佳的了解，下文特举实施例，并配合所附的附图详细说明如下。
【技术保护点】
1.一种微机电装置，包含：
2.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案暴露于该空腔中。
3.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案包含彼此分离的多个凸部，该些凸部朝向该空腔凸出。
4.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜具有相对于该下表面的上表面，该聚合物膜的该上表面包含平坦表面区，该平坦表面区在纵向方向上重叠于该波纹图案。
5.如权利要求1所述的微机电装置，还包含在该基板与该聚合物膜之间的介电层，该空腔贯穿该介电层。
6.如权利要求5所述的微机电装置，其中该介电层具有面对该基板的下表面，该下表面的一部分暴露于该空腔中。
7.如权利要求5所述的微机电装置，还包含在该介电层与该基板之间的氧化物层。
8.如权利要求7所述的微机电装置，其中该氧化物层与该介电层包含不同材料。
9.如权利要求7所述的微机电装置，其中该空腔贯穿该氧化物层。
10.如权利要求1所述的微机电装置，还包含在该基板与该聚合物膜之间的金属层，该金属层的一部分暴露于该空
11.一种用以制造微机电装置的方法，包含：
12.如权利要求11所述的方法，还包含：
13.如权利要求11所述的方法，还包含：
14.如权利要求13所述的方法，还包含：
15.如权利要求14所述的方法，还包含：
16.如权利要求15所述的方法，其中该波纹图案包含彼此分离的多个凸部，该些凸部朝向该空腔凸出。
17.如权利要求11所述的方法，其中形成该牺牲波纹图案的该步骤包含移除该介电层的第二部分，该介电层的该第二部分形成于该些线圈结构的上表面上。
18.如权利要求11所述的方法，还包含：
19.如权利要求18所述的方法，还包含：
20.如权利要求19所述的方法，还包含：
...【技术特征摘要】
1.一种微机电装置，包含：
2.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案暴露于该空腔中。
3.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜的该波纹图案包含彼此分离的多个凸部，该些凸部朝向该空腔凸出。
4.如权利要求1所述的微机电装置，其中该聚合物膜具有相对于该下表面的上表面，该聚合物膜的该上表面包含平坦表面区，该平坦表面区在纵向方向上重叠于该波纹图案。
5.如权利要求1所述的微机电装置，还包含在该基板与该聚合物膜之间的介电层，该空腔贯穿该介电层。
6.如权利要求5所述的微机电装置，其中该介电层具有面对该基板的下表面，该下表面的一部分暴露于该空腔中。
7.如权利要求5所述的微机电装置，还包含在该介电层与该基板之间的氧化物层。
8.如权利要求7所述的微机电装置，其中该氧化物层与该介电层包含不同材料。
9.如权利要求7所述的微机电装...
【专利技术属性】
技术研发人员：张容豪，陈翁宜，
申请(专利权)人：联华电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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