一种靶材背管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材背管，涉及靶材加工技术领域，其技术方案要点是：包括背管本体与两个对接头，所述对接头的半径大于背管本体的半径，所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部，两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上。通过将对接头利用连接部与背管本体连接，即可成型靶材背管，从而无需对靶材背管中间段进行切割，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材背管
本技术涉及靶材加工
，更具体地说，它涉及一种靶材背管。
技术介绍
靶材是通过磁控溅射在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。目前，靶材的形状主要有平面靶和旋转靶。对于旋转靶，一般均做成等轴圆柱形，且为了提高靶材利用率，一般旋转靶的两端厚度要大于中间端的厚度。现有技术中，靶材一般通过背管成型，而为了配合于靶材的形状，背管一般也需要做成两端厚度大于中间端厚度的形状，通常背管的加工采用车床将其中间端切销薄一些，从而成型中间薄两端厚的背管。但是对于较长的背管，此种背管成型方式会浪费较多的材料，导致资源浪费。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的第的在于提供一种靶材背管，降低材料浪费程度，具有提高资源利用率的效果。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种靶材背管，包括背管本体与两个对接头，所述对接头的半径大于背管本体的半径，所述对接头上设置有用于与背管本体端部对接的连接部，两所述对接头的连接部通过外接固定方式分别固定连接于背管本体的两端上。进一步设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材背管，其特征在于，包括背管本体(1)与两个对接头(2)，所述对接头(2)的半径大于背管本体(1)的半径，所述对接头(2)上设置有用于与背管本体(1)端部对接的连接部(21)，两所述对接头(2)的连接部(21)通过外接固定方式分别固定连接于背管本体(1)的两端上，所述连接部(21)与背管本体(1)的端部之间设置有用于将对接头(2)对位安装于背管本体(1)上的连接结构(3)，所述连接结构(3)包括设置于背管本体(1)端部的内衬部(31)以及设置于连接部(21)端部的外套部(32)，所述外套部(32)套接于内衬部(31)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材背管，其特征在于，包括背管本体(1)与两个对接头(2)，所述对接头(2)的半径大于背管本体(1)的半径，所述对接头(2)上设置有用于与背管本体(1)端部对接的连接部(21)，两所述对接头(2)的连接部(21)通过外接固定方式分别固定连接于背管本体(1)的两端上，所述连接部(21)与背管本体(1)的端部之间设置有用于将对接头(2)对位安装于背管本体(1)上的连接结构(3)，所述连接结构(3)包括设置于背管本体(1)端部的内衬部(31)以及设置于连接部(21)端部的外套部(32)，所述外套部(32)套接于内衬部(31)上。


2.根据权利要求1所述的一种靶材背管，其特征在于，所述内衬部(31)的横截面设置为圆形，所述外套部(32)的横截面设置为圆台形，且所述外套部(32)半径较小的端面套设于内衬部(31)上。


3.根据权利要求2所述的一种靶材背管，其特征在于，所述内衬部(31)与背管本体(1)端部之间通过倾斜边(4)过渡，所述倾斜边(4)的厚度沿中轴方向自背管本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖龙辉，罗文富，
申请(专利权)人：厦门佰事兴新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35