【技术实现步骤摘要】
一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置
本技术涉及圆晶移动装置领域，特别涉及一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置。
技术介绍
圆晶晶片在生产的过程中，需要经过切割、抛光、镀膜等多个步骤，每个步骤结束后均需要对源晶晶片进行转移、清洗等操作，因此需要机械手臂对装有多个圆晶的圆晶盒进行转移。现有技术中，机械手臂采用的支撑和驱动装置具有移动精度不高，使用过程中容易发生位置偏移的技术问题。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术中披露了一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，用于解决现有技术中，圆晶盒移动用机械手臂的支撑及驱动装置移动精度差，容易发生位置偏移的技术问题，本技术的技术方案是这样实施的：一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板、用于连接机械手臂的连接件、用于驱动所述连接件沿着水平方向移动的水平驱动模块、用于驱动所述连接件沿着竖直方向移动的竖直驱动模块，所述固定板的一侧沿着水平方向设置有第一滑轨和第二滑轨，所述水平驱动模块包括滑动板，所述滑动板通过第一滑块和第二滑块与所述第一滑轨滑动连接，所述...
【技术保护点】
1.一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板(1)、用于连接机械手臂的连接件(2)、用于驱动所述连接件(2)沿着水平方向移动的水平驱动模块(3)、用于驱动所述连接件(2)沿着竖直方向移动的竖直驱动模块(4)，其特征在于：/n所述固定板(1)的一侧沿着水平方向设置有第一滑轨(11)和第二滑轨(12)，所述水平驱动模块(3)包括滑动板(31)，所述滑动板(31)通过第一滑块(311)和第二滑块(312)与所述第一滑轨(11)滑动连接，所述滑动板(31)通过第三滑块(313)和第四滑块(314)与所述第二滑轨(12)滑动连接；/n所述固定板(1)沿着水平方向设置有齿条(1...
【技术特征摘要】
1.一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，包括固定板(1)、用于连接机械手臂的连接件(2)、用于驱动所述连接件(2)沿着水平方向移动的水平驱动模块(3)、用于驱动所述连接件(2)沿着竖直方向移动的竖直驱动模块(4)，其特征在于：
所述固定板(1)的一侧沿着水平方向设置有第一滑轨(11)和第二滑轨(12)，所述水平驱动模块(3)包括滑动板(31)，所述滑动板(31)通过第一滑块(311)和第二滑块(312)与所述第一滑轨(11)滑动连接，所述滑动板(31)通过第三滑块(313)和第四滑块(314)与所述第二滑轨(12)滑动连接；
所述固定板(1)沿着水平方向设置有齿条(13)，所述齿条(13)设置于所述第一滑轨(11)和所述第二滑轨(12)之间；所述滑动板(31)上设置有与所述齿条(13)相匹配的齿轮(32)，以及用于驱动所述齿轮(32)旋转的驱动电机(33)；
所述滑动板(31)远离所述固定板(1)的一侧沿着竖直方向设置有第三滑轨(34)和第四滑轨(35)；
所述竖直驱动模块(4)包括沿着竖直方向设置的直线推杆(41)，所述直线推杆(41)通过螺栓与所述滑动板(31)相固定，且设置于所述第三滑轨(34)和所述第四滑轨(35)之间，所述直线推杆(41)的外套(411)与滑动件(42)相固定，所述滑动件(42)通过第五滑块(421)和第六滑块(422)与所述第三滑轨(34)滑动连接，所述滑动件(42)通过第七滑块(423)和第八滑块(424)与所述第四滑轨(35)滑动连接，所述外套(411)与所述连接件(2)相固定；
所述固定板(1)上开设有若干个用于固定的连接孔(14)，所述连接孔(14)包括与所述固定板(1)垂直设置的通孔(141)，以及设置于通孔(141)两侧的第一螺孔(142)和第二螺孔(143)，所述通孔(141)包括远离所述水平驱动模块(3)的螺纹部(1411)和靠近所述水平驱动模块(3)的圆柱部(1412)，所述圆柱部(1412)的孔径大于所述螺纹部(1411)的孔径，所述第一螺孔(142)和所述第二螺孔(143)关于所述通孔(141)的轴线对称。
2.根据权利要求1所述的一种实现移动稳定性的机械手臂驱动装置，其特征在于：所述第一滑轨(11)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，庄海云，蔡嘉雄，陈佳炜，王雪松，
申请(专利权)人：至微半导体上海有限公司，江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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