一种介质层上的电润湿微液滴驱动器制造技术

本实用新型专利技术公开了属于微全分析和微机电装置范围的一种介质层上的电润湿微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化ＳｉＯ↓［２］下极板衬底，在衬底上为Ｔｉ／Ｐｔ下电极阵列，一层薄膜介质层覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜厌水层覆盖在介质层上，带厌水层和ＩＴＯ的上极板玻璃片由支撑物支撑在下电极阵列的上方。本微液滴驱动器具有液滴驱动电压低、制作工艺简易、成本低、可进一步将液体的其他操作集成在一个芯片上。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微全分析和微机电装置范围，特别涉及一种介质层上的电润湿微液滴驱动器。
技术介绍
自从Manz和Widmer于20世纪90年代初首次提出微全分析系统(miniaturized total analysis system，μTAS)的概念以来，在短短的十余年中已发展成为当前世界上最前沿的科技领域之一。μTAS的目的是通过化学分析设备的微型化与集成化，最大限度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中，甚至集成到方寸大小的芯片上。因此，μTAS又被称为芯片实验室(LOC)。目前，μFAS在化学分析、生化检测、药物输运、分子分离、核酸分子的放大、排序或合成、环境检测以及其他方面都有广泛的应用前景。对微量甚至痕量液体的操纵与控制是实现微全分析系统的基础和必须解决的关键问题。根据微全分析系统中对液体的操作方式，可以将微全分析系统分为连续流系统和离散流系统两种。目前，已经报道过的微全分析系统大多基于连续流系统，液体在充满了样品或化学试剂水溶液的封闭沟道中流动，并利用微泵和微阀等器件来产生和控制流体的流动。但是，连续流系统的缺点在于(1)由于电极和溶液直接接触，会产生一些电化学反应；(2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种介质层上的电润湿微液滴驱动器，其特征在于：所述微液滴驱动器的结构是在硅衬底（１）上的介质层为下极板衬底（２），在下极板衬底（２）上为Ｔｉ／Ｐｔ下电极阵列（３），一层薄膜介质层（４）覆盖在上面，碳氟聚合物薄膜厌水层（５）覆盖在介质层（４）上，带厌水层（５）和ＩＴＯ层（６）的上极板玻璃片（７）由支撑物（８）支撑在下电极阵列（３）的上方，下电极阵列（３）与外部引线（９）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：岳瑞峰，曾雪锋，吴建刚，胡欢，刘理天，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]