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一种介质层上的电润湿微液滴驱动器制造技术
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文档序号:2611262
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本实用新型公开了属于微全分析和微机电装置范围的一种介质层上的电润湿微液滴驱动器。在单晶硅上有一层热氧化SiO↓[2]下极板衬底,在衬底上为Ti/Pt下电极阵列,一层薄膜介质层覆盖在上面,碳氟聚合物薄膜厌水层覆盖在介质层上,带厌水层和ITO的...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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