硅片用顶齿以及顶齿组制造技术

本实用新型专利技术公开了硅片用顶齿(100)以及顶齿组(200)，其中，硅片用顶齿(100)，包括齿件基座(110)，在长度方向的第一端(111)，设有用于支撑硅片(101)的支撑部(112)；第一齿件(120)，设置在支撑部(112)的一侧，具有第一表面(121)，第一表面(121)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及第二齿件(130)，安装到支撑部(112)的另一侧，具有与第一表面(121)相对的第二表面(131)，第二表面(131)的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；支撑部(112)、第一表面(121)和第二表面(131)形成用于容纳硅片(101)的顶齿槽(140)。本实用新型专利技术的硅片用顶齿在硅片的生产过程中，能够降低硅片表面被划伤的风险。

【技术实现步骤摘要】
硅片用顶齿以及顶齿组
本技术涉及太阳能电池生产
，尤其涉及硅片用顶齿以及顶齿组。
技术介绍
随着太阳能光伏行业的快速发展，对硅片的生产质量也愈发重视。在硅片的生产过程中，例如在扩散、氧化、退火、LPCVD等工艺段的自动装卸的过程中，通常会使用由多个顶齿组成的顶齿组，将硅片从石英舟的槽中或者花篮的槽中顶出，或者将硅片放入石英舟的槽中或者花篮的槽中。在这过程中，经常会出现由于顶齿槽和硅片磕碰而导致硅片表面被产生划痕，进而影响产品的质量的情况。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种硅片用顶齿，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。此外，本技术还提出了由硅片用顶齿组成的顶齿组。根据本技术第一方面实施例的硅片用顶齿，包括齿件基座，在长度方向的第一端，设有用于支撑硅片的支撑部；第一齿件，设置在所述支撑部的一侧，具有第一表面，所述第一表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及第二齿件，安装到所述支撑部的另一侧，具有与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；所述支撑部、所述第一表面和所述第二表面形成用于容纳所述硅片的至少一部分的顶齿槽。本技术的硅片用顶齿，至少具有如下有益效果：由于至少第二齿件安装到齿件基座，在第二齿件安装之前，作为形成用于容纳硅片的顶齿槽的第一表面和第二表面，均处在外侧，第一表面和第二表面容易被抛光加工至表面粗糙度为Ra0.1μm以下。因此，本技术的硅片用顶齿，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。在一些实施例中，所述第一齿件安装到所述支撑部的一侧。在一些实施例中，所述第一齿件通过粘接和/或螺接的方式安装到所述支撑部的一侧。在一些实施例中，所述第二齿件通过粘接和/或螺接安装到所述支撑部的另一侧。在一些实施例中，所述支撑部上，设有防护垫，所述防护垫容置在所述顶齿槽内。在一些实施例中，所述齿件基座在所述支撑部的一侧，设有第一阶梯部，所述第一齿件安装到所述第一阶梯部，所述第一齿件的外侧面，和所述齿件基座的一侧的外侧面平齐；所述齿件基座在所述支撑部的另一侧，设有第二阶梯部，所述第二齿件安装到所述第二阶梯部，所述第二齿件的外侧面，和所述齿件基座的另一侧的外侧面平齐。在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是可进行抛光的陶瓷材料。在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件的材料分别是氧化锆陶瓷材料。在一些实施例中，所述第一齿件和所述第二齿件分别呈片状。根据本技术第二方面实施例的顶齿组，包括安装基座；以及多个上述任一项的硅片用顶齿，多个所述硅片用顶齿并排地安装到所述安装基座。本技术的顶齿组，至少具有如下有益效果：由于能够提高各硅片用顶齿的顶齿槽内和硅片接触的表面的光滑程度，因此，本技术的顶齿组在硅片的生产过程中，能够降低硅片表面被划伤的风险。附图说明图1是本技术的硅片用顶齿的一种实施例的示意图；图2是图1中A处的局部放大图；图3图1的硅片用顶齿的要部的爆炸示意图；图4是图3的硅片用顶齿的另一视角的示意图；图5是本技术的硅片用顶齿的另一种实施例的要部的爆炸示意图；图6是本技术的顶齿组的一种实施例的示意图。具体实施方式以下将结合实施例对本技术的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。在本技术实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本技术实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。图1是硅片用顶齿100的一种实施例的示意图，图2是图1中A处的局部放大图，图3是硅片用顶齿100的要部的爆炸示意图，图4是硅片用顶齿100的另一视角的示意图，参照图1至图4，根据本技术第一方面实施例的硅片用顶齿100，包括齿件基座110、第一齿件120以及第二齿件130，其中，齿件基座110在长度方向的第一端111，设有用于支撑硅片101的支撑部112；第一齿件120设置在支撑部112的一侧(以下也称第一侧112a)，具有第一表面121，第一表面121的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；第二齿件130安装到支撑部112的另一侧(与第一侧112a相对，以下也称第二侧112b)，具有与第一表面121相对的第二表面131，第二表面131的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；支撑部112、第一表面121和第二表面131形成用于容纳硅片101的至少一部分的顶齿槽140。在本实施例中，由于至少第二齿件130安装到齿件基座110，在第二齿件130安装之前，作为形成用于容纳硅片101的顶齿槽140的第一表面121和第二表面131，均处在外侧，不存在由于顶齿槽140比较狭窄导致第一表面121和第二表面131无法精加工的问题，因此第一表面121和第二表面131容易被抛光加工至表面粗糙度为0.1μm以下。因此，本实施例的硅片用顶齿100，能够提高硅片用顶齿100和硅片101接触的表面的光滑程度，从而降低硅片101表面被划伤的风险。具体地，例如，第一齿件120的第一表面121呈平面状，平坦地显露在外面，由此，能够直接将第一齿件120装夹在机床(未图示)例如抛光机上，抛光机的抛光工具能够直接从垂直于第一齿件120的第一表面121的方向靠近第一表面121，并对第一齿件120的第一表面121进行抛光，从而提高第一齿件120的第一表面121的光滑程度。另外，可以想到的是，第二齿件130的第二表面131也呈平面状，平坦地显露在外面，由此，能够直接将第二齿件130装夹并对第二齿件130的第二表面131进行抛光，从而提高第二齿件130的第二表面131的光滑程度。可以想到的是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片用顶齿，其特征在于，包括/n齿件基座，在长度方向的第一端，设有用于支撑硅片的支撑部；/n第一齿件，设置在所述支撑部的一侧，具有第一表面，所述第一表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及/n第二齿件，安装到所述支撑部的另一侧，具有与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；/n所述支撑部、所述第一表面和所述第二表面形成用于容纳所述硅片的至少一部分的顶齿槽。/n

【技术特征摘要】
1.硅片用顶齿，其特征在于，包括
齿件基座，在长度方向的第一端，设有用于支撑硅片的支撑部；
第一齿件，设置在所述支撑部的一侧，具有第一表面，所述第一表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；以及
第二齿件，安装到所述支撑部的另一侧，具有与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下；
所述支撑部、所述第一表面和所述第二表面形成用于容纳所述硅片的至少一部分的顶齿槽。


2.根据权利要求1所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件安装到所述支撑部的一侧。


3.根据权利要求2所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第一齿件通过粘接和/或螺接的方式安装到所述支撑部的一侧。


4.根据权利要求1或3所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述第二齿件通过粘接和/或螺接安装到所述支撑部的另一侧。


5.根据权利要求1所述的硅片用顶齿，其特征在于，所述支撑部上，设有防护垫，所述防护垫容置在所述顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，廖庆林，磨建新，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44