硅片用顶齿组制造技术

本实用新型专利技术公开了硅片用顶齿组，包括安装基座(110)，沿长度方向并排地设有多个安装部(111)；以及多个齿件(120)，分别安装到安装部(111)；相邻的两个齿件(120)的外表面(123)和安装基座(110)，形成用于容纳硅片(101)的至少一部分的顶齿槽(130)，各齿件(120)的朝向各顶齿槽(130)内的部分123a的表面粗糙度为Ra0.1μm以下。本实用新型专利技术的硅片用顶齿组，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。

【技术实现步骤摘要】
硅片用顶齿组
本技术涉及太阳能电池生产
，尤其涉及硅片用顶齿组。
技术介绍
随着太阳能光伏行业的快速发展，对硅片的生产质量也愈发重视。在硅片的生产过程中，例如在扩散、氧化、退火、LPCVD等工艺段的自动装卸的过程中，通常会使用由多个顶齿组成的顶齿组，将硅片从石英舟的槽中或者花篮的槽中顶出，或者将硅片放入石英舟的槽中或者花篮的槽中。在这过程中，经常会出现由于顶齿槽和硅片磕碰而导致硅片表面被产生划痕，进而影响产品的质量的情况。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种硅片用顶齿组，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。根据本技术实施例的硅片用顶齿组，包括安装基座，沿长度方向并排地设有多个安装部；以及齿件，包括多个，分别安装到所述安装部；相邻的两个齿件的外表面和所述安装基座，形成用于容纳硅片的至少一部分的顶齿槽，各所述齿件的朝向各所述顶齿槽内的部分的表面粗糙度为Ra0.1μm以下。本技术的硅片用顶齿组，至少具有如下有益效果：由于各齿件分别安装到安装基座，因此，各齿件在安装到安装基座之前，作为形成用于容纳硅片的顶齿槽的外表面处在外侧，各齿件的外表面容易被抛光加工至表面粗糙度为Ra0.1μm以下。因此，本技术的硅片用顶齿组，能够提高顶齿和硅片接触的表面的光滑程度，从而降低硅片表面被划伤的风险。在一些实施例中，所述齿件呈柱状。在一些实施例中，所述齿件包括呈圆柱状的第一段部，所述第一段部的周面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下，相邻的两个所述齿件的所述第一段部和所述安装基座，形成所述顶齿槽。在一些实施例中，所述齿件还包括呈圆锥状的第二段部，所述第二段部和所述第一段部一体成型，所述第二段部位于所述第一段部的上方。在一些实施例中，所述安装部呈孔状，各所述齿件分别插入到所述安装部内并被固定。在一些实施例中，所述齿件粘接到所述安装部内。在一些实施例中，所述齿件在所述安装部内通过顶丝被顶紧。在一些实施例中，所述齿件的材料是可进行抛光的陶瓷材料。在一些实施例中，所述齿件的材料为氧化锆陶瓷材料。附图说明图1是本技术的硅片用顶齿组的一种实施例的主视图；图2是图1中A处的局部放大图；图3是图1的硅片用顶齿组的侧视图。具体实施方式以下将结合实施例对本技术的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。在本技术实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本技术实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果涉及到“大于”、“小于”、“超过”，均应理解为不包括本数，如果涉及到“以上”、“以下”、“以内”，均应理解为包括本数。如果涉及到“第一”、“第二”，应当理解为用于区分技术特征，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。图1是硅片用顶齿组的主视图，图2是图1中A处的局部放大图，图3是图1的硅片用顶齿组的侧视图，参照图1至图3，根据本技术实施例的硅片用顶齿组，包括安装基座110以及多个齿件120，其中，安装基座110沿长度方向并排地设有多个安装部111，齿件120分别安装到安装部111，相邻的两个齿件120的外表面123和安装基座110，形成用于容纳硅片101的至少一部分的顶齿槽130，各齿件120的朝向各顶齿槽130内的部分123a的表面粗糙度为Ra0.1μm以下。在本实施例中，由于各齿件120分别安装到安装基座110，因此，各齿件120在安装到安装基座110之前，作为形成用于容纳硅片101的顶齿槽130的齿件120的外表面123处在外侧，不存在由于顶齿槽130比较狭窄导致齿件120的朝向顶齿槽内的部分123a无法精加工的问题，各齿件120的外表面123容易被抛光加工至表面粗糙度为Ra0.1μm以下。因此，本技术的硅片101用顶齿，能够提高顶齿和硅片101接触的表面的光滑程度，从而降低硅片101表面被划伤的风险。可以想到的是，虽然只要齿件120的朝向各顶齿槽130内的部分123a的表面粗糙度能够为Ra0.1μm以下即可，但是在不考虑加工难度或者加工成本等的情况下，齿件120的该表面粗糙度越小越好，例如也可以是Ra0.050μm、Ra0.025μm。可以想到的是，齿件120的外表面123(即整个外周)均可以加工为表面粗糙度在Ra0.1μm以下即可，以方便齿件120的安装并能够防止安装出错。可以想到的是，表面粗糙度可以通过例如表面粗糙度测量仪进行测量。在一些实施例中，为了便于对齿件120的外表面123进行抛光加工，齿件120呈柱状。由此，能够直接将齿件120装夹在机床(未图示)例如抛光机上，抛光机的抛光工具能够直接对齿件120的外表面123进行抛光加工，从而提高齿件120的朝向各顶齿槽130内的部分123a的光滑程度。此外，由于齿件120呈柱状，因此，和硅片101接触的部分为线状，能够进一步降低硅片101表面被划伤的风险。在一些实施例中，齿件120包括呈圆柱状的第一段部121，第一段部121的外周面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下，相邻的两个齿件120的第一段部121和安装基座110，形成顶齿槽130(参照图1中虚线部分)。具体地，以安装基座110的上表面112作为用于支撑硅片101的支撑部，各齿件120分别装到安装基座110的安装部111并使第一段部121朝上突出于安装基座110的上表面112，由此，相邻的两个齿件120和安装基座110的上表面112之间，形成能够用于容纳并限制硅片101的至少一部分的顶齿槽130。由于齿件120在第一段部121的表面粗糙度为Ra0.1μm以下，即第一段部121的外周面非常光滑，因此，即使硅片101在顶齿槽130内和第一段部121发生碰撞，也不容易被划伤。在一些实施例中，为了方便硅片101进入到顶齿槽130内，齿件120还包括呈圆锥状的第二段部122，第二段部122和第一段部121一体成型，第二段部122位于第一段部121的上方。由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片用顶齿组，其特征在于，包括/n安装基座，沿长度方向并排地设有多个安装部；以及/n齿件，包括多个，分别安装到所述安装部；/n相邻的两个齿件的外表面和所述安装基座，形成用于容纳硅片的至少一部分的顶齿槽，各所述齿件的朝向各所述顶齿槽内的部分的表面粗糙度为Ra0.1μm以下。/n

【技术特征摘要】
1.硅片用顶齿组，其特征在于，包括
安装基座，沿长度方向并排地设有多个安装部；以及
齿件，包括多个，分别安装到所述安装部；
相邻的两个齿件的外表面和所述安装基座，形成用于容纳硅片的至少一部分的顶齿槽，各所述齿件的朝向各所述顶齿槽内的部分的表面粗糙度为Ra0.1μm以下。


2.根据权利要求1所述的硅片用顶齿组，其特征在于，所述齿件呈柱状。


3.根据权利要求2所述的硅片用顶齿组，其特征在于，所述齿件包括呈圆柱状的第一段部，所述第一段部的周面的表面粗糙度为Ra0.1μm以下，相邻的两个所述齿件的所述第一段部和所述安装基座，形成所述顶齿槽。


4.根据权利要求3所述的硅片用顶齿组，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，廖庆林，磨建新，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44