【技术实现步骤摘要】
本技术用于压力、加速度测量，可以应用于生物、化学、环境等许多领域中，涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量，尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。
技术介绍
兰姆波微传感器的出现已有十几年的历史。传统的兰姆波传感器是在硅基底上附着压电薄膜制成，由于压电薄膜的制造工艺复杂、寿命低、质量不易检测以及稳定性不理想等因素，近年来人们一直在探索其它替代方式。2000年美国斯坦福大学用表面微机械工艺尝试研究了静电式兰姆波传感器，为该传感器的研制开辟了新的技术途径，但是这种表面微加工工艺对设备要求高、制造难度大，因而成本高。本技术的目的是解决已有技术中对设备要求高、制造难度大，因而成本高，质量不稳定的问题，寻求一种用常规工艺可实现低成本、高可靠性、长寿命的静电叠层式兰姆波传感器。本技术主要采用体硅工艺制作，它包括衬底1、薄膜2，金属层分别为3和4、凸台5、接收窗口6、叉指电极7、齿状支撑8、凸台9、衬底10、氧化层11，由上下两层结构构成分别是衬底1和衬底10，在衬底1的本体上制备有薄膜2，在薄膜2的上下表面制备金属层分别为3和4，在衬底1本体上对称位置制备有两个凸台5，在衬底10的本体上制备有接收窗口6、齿状支撑8和两个凸台9，在齿状支撑8的齿间制备有叉指电极7，两个凸台5的底部与两个凸台9的上部键合连接。本技术的工作过程由低电阻性薄膜和金属层构成电容的上表面，叉指电极构成的电容的下表面，当在薄膜和叉指电极间施加电压时，由于齿状支撑与薄膜的周期性间隔结构而在薄膜内形成兰姆波，此时当薄膜的表面有微量气体或液体流过时，薄膜内传播的兰姆波将产生幅值、频率和相位上的变化，通...
【技术保护点】
一种静电叠层式兰姆波微型传感器，其特征在于：衬底１、薄膜２，金属层分别为３和４、凸台５、接收窗口６、叉指电极７、齿状支撑８、凸台９、衬底１０、氧化层１１，传感器由上下两层结构构成分别是衬底１和衬底１０，在衬底１的本体上制备有薄膜２，在薄膜２的上下表面制备金属层分别为３和４，在衬底１本体上对称位置制备有两个凸台５，在衬底１０的本体上制备有接收窗口６、齿状支撑８和两个凸台９，在齿状支撑８的齿间制备有叉指电极７，两个凸台５的底部与两个凸台５的上部连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴一辉，费朗西思贝思汀，米歇尔罗勃切罗尔，贾宏光，鞠挥，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]
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