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薄膜热敏电阻红外线探测器制造技术

技术编号:2605105 阅读:388 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种检测装置,它由聚光锗透镜,阻挡层,类金刚石膜介质层,铬金导电层,薄膜热敏电阻,内引线,陶瓷过渡电极等组成,其中,在锗透镜平面上设阻挡层,在整个锗透镜平面上设一层类金刚石膜,在类金刚石薄膜介质上设置铬金导电层,在锗透镜中心位置及旁侧有阻挡层位置处设置二个薄膜热敏电阻,在铬金导电层的三端点分别引出三根细金丝并分别焊在陶瓷过渡电极上,再在过渡电极上另用三根较粗导线直接分别焊到管脚上。(*该技术在2006年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及检测技术中的一种检测装置。红外探测技术,其应用极其广泛,不仅可用于空间技术中,也广泛地应用于民用领域。目前已有的原理类似的专利技术有美国的“浸没型薄片热敏电阻测辐射热计”(US.3,121,208),和国内的“共衬底热敏电阻红外探测器”(CN92206035),美国的测辐射热计其敏感电阻薄片是用物理方法以预定比例把材料混合搅拌后烧结成的,他的生成过程是首先将锰镍钴三元素的氧化物按一定的比例预混合后放入球磨机中研磨起到充分搅拌均匀和研细的作用。然后以厚膜工艺中常用的流涎法成型工艺形成十几微米厚的薄层,烘干后放入高温炉中烧结成具有尖晶石结构的热敏电阻,在切成所需尺寸后在薄片二侧复盖上金层,中间留出敏感面。在金层上用变截面的白金细丝涂上金浆,在高温下烧结成牢固的接头。在经过电性能测试筛选后,把合格片子浸没在锗透镜上。浸没工艺的过程是在已镀增透层的锗透镜上用真空镀膜蒸上一层约10微米厚材料为80%硒20%砷的硒砷玻璃,把已镀上硒砷玻璃的锗透镜放入一加温炉中升温至玻璃软化,把已制成的合格片子放入一重块的凹槽内,凹槽周围用高频圈加热。当高频圈把重块及热敏薄片加热后,此时加温炉也已本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜热敏电阻红外探测器,其特征在于它包含有:聚光锗透镜、阻挡层、类金刚石膜介质层、铬金导电层、薄膜热敏电阻、陶瓷或其它绝缘材料过渡电极、内引线和外壳及管脚,其中,在锗透镜平面上的补偿热敏电阻处设阻挡层,在整个锗透镜平面上设有一层类金刚石膜,在类金刚石薄膜介质层上设置铬金导电层布线,锗透镜轴中心位置上及其旁侧有阻挡层的位置上,设置二个薄膜热敏电阻,在铬金导电层的三端点分别引出三根细金丝,即内引线,把这些细金丝分别焊在陶瓷或其它绝缘材料过渡电极上,又在过渡电极上另用三根较粗导线将它直接焊到探测器管座的管腿上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁仁杰黄玢
申请(专利权)人:马开荣郭兴华吴时瑛
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]

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